[發(fā)明專利]一種硅片清洗后的快速干燥方法和裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910242236.5 | 申請日： | 2009-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN101718487A | 公開（公告）日： | 2010-06-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 盛方毓;馮泉林;閆志瑞;葛鐘;陳海濱;庫黎明;索思卓 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | F26B5/16 | 分類號： | F26B5/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 清洗 快速 干燥 方法 裝置 | ||
1.一種硅片清洗后的快速干燥方法，其特征在于：它包括以下步驟：將硅 片放入干燥槽，將異丙醇通入霧化室霧化成異丙醇汽霧，該異丙醇汽霧經(jīng)冷凝 室、加熱室進(jìn)入干燥槽干燥硅片，所述的冷凝室的溫度控制在2-15℃之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗后的快速干燥方法，其特征在于：冷 凝室與加熱室之間有一條接氮氣的管道，該氮氣的另一端接氮氣氣源。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片清洗后的快速干燥方法，其特征是：冷凝 室具有異丙醇收集器，將液化的異丙醇集中收集。
4.一種用于權(quán)利要求1所述的硅片清洗后的快速干燥的裝置，其特征在于： 它包括：以氮氣管路將霧化室、冷凝室、加熱控溫室、干燥槽依次串聯(lián)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗后的快速干燥的裝置，其特征在于：在 氮氣管路入口位置引入一條旁路氮氣，將這條旁路管道連接在冷凝室和加熱控溫 室之間的三通上，使得氮氣可以直接經(jīng)過加熱控溫室通入干燥槽。
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