[發明專利]質量流量控制器調節閥

無效

• 申請號: 200910241376.0
• 申請日: 2009-11-30
• 公開（公告）號: CN101718365A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 宋志輝;趙雪
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F16K27/00
• 分類號: F16K27/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 胡小永

技術領域

本發明涉及質量流量控制器領域，尤其涉及一種質量流量控制器調節閥。

背景技術

質量流量控制器(Mass?Flow?Controller，MFC)由質量流量計、控制器組成，不但具有流量計的功能，還能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上。由分流器通道、流量傳感器和放大電路等部件組成，在質量流量計的基礎上，再加上調節閥和PID(Proportion?IntegrationDifferentiation，比例積分微分)控制電路就構成了質量流量控制器。

如圖1-2所示，傳統的質量流量控制器的調節閥由閥體1、簧片2、卡圈3組成，卡圈3將簧片2固定在閥體1內，卡圈3與閥體1之間通過摩擦力固定，卡圈3為圖3所示的圓環結構。簧片2在質量流量控制器的實際工作中會不停的上下振動，此過程中要求簧片2緊貼在閥體1上，不能有松動。但是，卡圈3與閥體1之間通過摩擦力固定，簧片2在上下振動時對卡圈3有向下的力，由于長期使用且閥體1內相對較光滑的原因，會出現卡圈3與閥體1之間的摩擦力小于簧片2對卡圈3向下的力，卡圈3下移。另外，由于卡圈3與簧片2之間為線接觸，接觸面積小，甚至有時會發生不完全接觸，造成簧片2在上下振動時受力不均。再有，卡圈3由彈簧鋼絲制成，硬度大，裝卸過程中很不方便。

發明內容

本發明的目的是提供一種質量流量器調節閥，該調節閥簧片在振動過程中不會松動，受力均勻，且該調節閥裝卸方便、簡單，可克服現有技術的不足。

為實現上述目的，本發明采用如下技術方案。

本發明提供的一種質量流量控制器調節閥，該調節閥包括閥體，簧片，以及將所述簧片固定在所述閥體內的卡環，所述閥體與所述卡環螺紋連接。

其中，所述卡環與所述簧片面接觸。

其中，所述閥體內圓周表面設置為螺紋表面。

其中，所述卡環外圓周表面全部設置為螺紋表面，或設定高度的外圓周表面設置為螺紋表面。

本發明所提出的質量流量控制器調節閥卡環與閥體是螺紋連接，使得在簧片振動過程中不會出現卡環下移、簧片松動的情況；且卡環與簧片是面接觸，接觸面積增大，簧片振動時受力均勻；且螺紋連接結構使得本發明的調節閥裝卸方便、簡單。

附圖說明

圖1為傳統的質量流量控制器調節閥結構示意圖；

圖2為傳統的質量流量控制器調節閥局部放大示意圖；

圖3為傳統的質量流量控制器調節閥中的卡圈示意圖；

圖4為依照本發明一種實施方式的質量流量控制器調節閥結構示意圖；

圖5為依照本發明一種實施方式的質量流量控制器調節閥局部放大示意圖；

圖6為依照本發明一種實施方式的質量流量控制器調節閥閥體示意圖；

圖7為依照本發明一種實施方式的質量流量控制器調節閥卡環示意圖。

圖中：1、閥體；2、簧片；3、卡圈；4、卡環。

具體實施方式

本發明提出的質量流量控制器調節閥，結合附圖和實施例詳細說明如下。

如圖4-5所示，依照本發明一種實施方式的質量流量控制器調節閥，包括閥體1，簧片2，以及將簧片2固定在閥體1內的卡環4。如圖6所示，閥體1內圓周表面設置為螺紋表面，以與卡環4螺紋連接。如圖7所示，卡環4外圓周表面設定高度設置為螺紋表面以與閥體1連接，將簧片2固定于閥體1內。卡環4也可設置為全部外圓周表面均設置為螺紋表面。卡環4底部設置有豁口，用于進一步擰緊固定。這樣，整個簧片2的上下振動過程中，卡環4不會發生下移的情況，簧片2可緊貼在閥體1上，不會出現松動，且使用簡單的自制工具即可裝卸，使得裝卸方便、簡單。此外，卡環4與簧片2為面接觸，增加了與簧片2的接觸面積，使得簧片2在上下振動時受力均勻。

以上實施方式僅用于說明本發明，而并非對本發明的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本發明的范疇，本發明的專利保護范圍應由權利要求限定。