[發明專利]靜電振鏡及其制作方法

有效

• 申請號: 200910237299.1
• 申請日: 2009-11-12
• 公開（公告）號: CN101718910A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 陳慶華;吳文剛;杜博超;賈鯤鵬;張海霞;夏雨;郝一龍
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 胡小永

1.一種靜電振鏡，由下至上包括襯底、驅動層、振鏡層，其特 征在于，

所述襯底至少表面絕緣；

所述驅動層包括：驅動電極、著陸電極、鍵合點以及導線，所述 驅動電極用于提供驅動電壓以及外部管腳的連接，以振鏡的中心線為 對稱線設置于所述中心線兩側，用于控制振鏡一個維度的振動；所述 著陸電極兩兩以所述中心線為對稱線設置于所述中心線兩側，并通過 鍵合與所述振鏡層相連，使得所述著陸電極與所述振鏡層的懸臂梁電 位相同；

所述振鏡層包括：振鏡、支架以及懸臂梁，所述振鏡兩端與所述 懸臂梁連接，所述支架固定于所述襯底上，所述懸臂梁與所述支架連 接，所述懸臂梁為魚骨形結構，具有末端可接觸到所述著陸電極的多 根不同長度的齒狀子梁，可允許連接的所述振鏡產生扭動。

2.如權利要求1所述的靜電振鏡，其特征在于，所述振鏡層至 少包括相對于所述振鏡對稱設置的兩個懸臂梁。

3.如權利要求2所述的靜電振鏡，其特征在于，所述兩個懸臂 梁的主梁連線與所述振鏡的中心線重合，子梁與所述主梁垂直。

4.如權利要求2所述的靜電振鏡，其特征在于，所述兩個懸臂 梁的主梁連線與所述振鏡的中心線重合，子梁與所述主梁垂直，且所 述子梁末端為Y形結構。

5.如權利要求2所述的靜電振鏡，其特征在于，所述兩個懸臂 梁的主梁連線與所述振鏡的中心線重合，子梁與所述主梁保持一定傾 斜角度。

6.如權利要求2所述的靜電振鏡，其特征在于，所述兩個懸臂 梁的主梁連線與所述振鏡的中心線重合，子梁為與所述主梁垂直或傾 斜一定角度的折疊結構。

7.一種靜電振鏡的制作方法，該方法包括步驟：

S1.制作至少表面絕緣的襯底：

S2.在所述襯底上沿所述襯底厚度方向制作掩膜，并使用表面薄 膜工藝將導電材料制成驅動層；

S3.去除掩膜，并在制好所述驅動層的襯底上制作振鏡層犧牲 層；

S4.使用表面薄膜工藝將導電材料制成振鏡層，并使用掩膜，對 所述振鏡層進行結構成型刻蝕，使其形成設定形狀；

S5.去除所述犧牲層以及掩膜；

其中，步驟S2中的驅動層包括：驅動電極、著陸電極、鍵合點 以及導線，所述驅動電極用于提供驅動電壓以及外部管腳的連接，以 振鏡的中心線為對稱線設置于所述中心線兩側，用于控制振鏡一個維 度的振動；所述著陸電極兩兩以所述中心線為對稱線設置于所述中心 線兩側，并通過鍵合與所述振鏡層相連，使得所述著陸電極與所述振 鏡層的懸臂梁電位相同；

步驟S4中的所述設定形狀為：形成的振鏡層包括：振鏡、支架 以及懸臂梁，所述振鏡兩端與所述懸臂梁連接，所述支架固定于所述 襯底上，所述懸臂梁與所述支架連接，所述懸臂梁為魚骨形結構，具 有末端可接觸到所述著陸電極的多根不同長度的齒狀子梁，可允許連 接的所述振鏡產生扭動。

8.如權利要求7所述的靜電振鏡的制作方法，其特征在于，步 驟S1中二氧化硅作為所述襯底，或使用導電或半導體材料進行絕緣 化處理作為所述襯底。

9.如權利要求7所述的靜電振鏡的制作方法，其特征在于，步 驟S1中使用P型或N型硅材料作為所述襯底。

10.如權利要求9所述的靜電振鏡的制作方法，其特征在于，步 驟S2中，在所述P型硅襯底上制作掩膜，向所述P型硅襯底中摻入 N型雜質，形成所述驅動層。

11.如權利要求7所述的靜電振鏡的制作方法，其特征在于，步 驟S3中所述振鏡層犧牲層先置于所述制好驅動層的襯底表面，然后 平坦化處理，再由掩膜刻蝕制作形成。

12.如權利要求7所述的靜電振鏡的制作方法，其特征在于，步 驟S4中還包括：通過表面薄膜工藝在所述導電材料上生成一層金屬， 以增加振鏡的反射率。