[發(fā)明專(zhuān)利]一種外腔半導(dǎo)體激光器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910235585.4
• 申請(qǐng)日: 2009-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102035136A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 臧二軍;趙陽(yáng);李燁;曹建平;方占軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
• 主分類(lèi)號(hào): H01S5/14
• 分類(lèi)號(hào): H01S5/14;H01S5/06;H01S5/065
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 李弘

1.一種外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，包括：錐形放大器、光柵、F-P腔、光學(xué)隔離器；

該外腔半導(dǎo)體激光器的布設(shè)使得從錐形放大器前端面發(fā)出的激光經(jīng)第一光學(xué)隔離器后，經(jīng)過(guò)光柵衍射以及F-P腔透射，透射光經(jīng)第二光學(xué)隔離器后，從錐形放大器后端面入射返回錐形放大器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述錐形放大器發(fā)出的激光經(jīng)第一光學(xué)隔離器后，先經(jīng)過(guò)光柵衍射，再入射到F-P腔上；

或者所述錐形放大器發(fā)出的激光經(jīng)第一光學(xué)隔離器后，先入射到F-P腔，經(jīng)F-P腔透射后入射到光柵上，光柵的衍射光經(jīng)第二光學(xué)隔離器后，從錐形放大器后端面入射返回錐形放大器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述各光學(xué)隔離器和錐形放大器兩端還分別設(shè)置：1/2波片，所述激光通過(guò)第一1/2波片后再入射到第一光學(xué)隔離器，激光經(jīng)第二1/2波片透射過(guò)第二光學(xué)隔離器后，通過(guò)第三1/2波片后再由后端面入射到所述錐形放大器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，在該半導(dǎo)體激光器的光路中還設(shè)置有：用于實(shí)現(xiàn)空間濾波的光闌。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，在該半導(dǎo)體激光器中還設(shè)置有：用于在主光路的光束中加入調(diào)制信號(hào)的電光調(diào)制器；或者用于在錐形放大器的電流中加入調(diào)制信號(hào)的設(shè)備。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，還包括：設(shè)置探測(cè)器和調(diào)制設(shè)備，激光入射到所述F-P腔時(shí)，所述F-P腔的前端面反射光反向入射到第一光學(xué)隔離器中，由第一光學(xué)隔離器入射端偏振分光棱鏡反射出光路，被所述探測(cè)器接收后經(jīng)過(guò)電路處理得到誤差信號(hào)；或者在F-P腔前放置一個(gè)1/2波片、一個(gè)偏振分光棱鏡、一個(gè)1/4波片；激光經(jīng)過(guò)1/2波片調(diào)整后透射過(guò)偏振分光棱鏡PBS，經(jīng)過(guò)1/4波片后，在F-P腔前表面反射，返回1/4波片，形成與入射光共路反向、偏振態(tài)相互垂直的光，由PBS反射出光路，可用探測(cè)器接收，用于提取誤差信號(hào)；

該誤差信號(hào)可反饋給控制設(shè)備，控制設(shè)備通過(guò)改變外腔中反射鏡后的壓電陶瓷的電壓，實(shí)現(xiàn)外腔對(duì)F-P腔頻率的跟蹤或同步鎖定。或控制設(shè)備同時(shí)通過(guò)在錐形放大器驅(qū)動(dòng)電流中加入反饋信號(hào)，使激光頻率通過(guò)電流的快環(huán)反饋和壓電陶瓷的慢環(huán)反饋實(shí)現(xiàn)鎖定。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，在所述錐形放大器的出射端和入射端還分別設(shè)置有第一準(zhǔn)直透鏡和第二準(zhǔn)直透鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述F-P腔上還粘接壓電陶瓷、或設(shè)置控溫裝置、或二者組合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述F-P腔為直腔結(jié)構(gòu)或者折疊腔結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求10所述的外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述F-P腔為平凹腔型。