[發明專利]活塞式高精度微位移傳感器及其檢測方法

無效

• 申請號: 200910234013.4
• 申請日: 2009-11-19
• 公開（公告）號: CN101701807A
• 公開（公告）日: 2010-05-05
• 發明（設計）人: 趙東標;陸永華;劉凱;章永年;陳盛
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: G01B13/02
• 分類號: G01B13/02;G01B7/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 唐小紅

1.一種活塞式高精度微位移傳感器，其特征在于：包括氣缸缸體(105)、連接法蘭(103)、微行程管(110)；其中氣缸缸體(105)被活塞(107)分成氣體裝載腔(106)和液體裝載腔(108)兩個腔；連接法蘭(103)位于氣體裝載腔(106)一側，并通過氣缸活塞桿(104)與活塞(107)相連；液體裝載腔(108)經過液體緩沖器(109)與微行程管(110)一端相連通，氣體裝載腔(106)與微行程管(110)另一端相連通；微行程管(110)內裝有電阻絲(112)，該電阻絲(112)與一電源形成檢測電路。

2.根據權利要求1所述的活塞式高精度微位移傳感器，其特征在于：所述電阻絲(112)兩端并聯有行程管液位/電阻轉換裝置(114)，行程管液位/電阻轉換裝置(114)與微位移顯示裝置(113)相連。

3.利用權利要求1所述活塞式高精度微位移傳感器的微位移檢測方法，其特征在于包括以下過程：

(a)、把氣缸缸體(105)固定，連接法蘭(103)與待測微運動部件連接，形成一個微位移可測量的檢測系統；

(b)、待測微運動部件發生微小位移時通過活塞桿(104)推動活塞(107)在氣缸缸體內運動；

(c)、如果活塞(107)向液體裝載腔(108)一側運動，則液體通過液體緩沖器(109)流入微行程管(110)中，微行程管中的空氣導入氣體裝載腔(106)；如果活塞(107)向氣體裝載腔(106)一側運動，則微行程管中的液體通過液體緩沖器(109)流入液體裝載腔(108)，氣體裝載腔(106)中的空氣導入微行程管；

(d)、活塞(107)作用下的液體在微行程管(110)中移動導致電阻絲(112)的阻值變化，檢測電阻絲(112)的阻值大小實現對微位移信息的檢測。

4.根據權利要求3所述微位移檢測方法，其特征在于還包括以下過程：

利用行程管液位/電阻轉換裝置(114)采集電阻絲(112)兩端電壓信號，并轉化為對應的微位移信息，并通過微位移顯示裝置(113)顯示出數值。?