[發明專利]電感耦合等離子體光源的供氣系統有效
| 申請號： | 200910232131.1 | 申請日： | 2009-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN101718699A | 公開（公告）日： | 2010-06-02 |
| 發明（設計）人： | 劉召貴;張樹龍;夏義峰 | 申請（專利權）人： | 江蘇天瑞儀器股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/73 | 分類號： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 樓高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電感 耦合 等離子體 光源 供氣 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種電感耦合等離子體光源的供氣系統，包括氣源、等離子氣供氣支路、 輔助氣供氣支路和載氣供氣支路，其特征在于：所述氣源分別通過一質量 流量控制器與所述等離子氣供氣支路、輔助氣供氣支路、載氣供氣支路連 接，所述質量流量控制器包括一質量流量傳感器和一電磁閥，所述質量流 量傳感器的出氣口與所述電磁閥的進氣口連通，所述質量流量傳感器的進 氣口與出氣口之間設有一層流分層件，所述質量流量傳感器上還設有一毛 細管，所述毛細管的兩個開口分別位于所述層流分層件的兩側，所述毛細 管上繞制有兩組熱敏電阻絲構成的測量電橋，所述測量電橋測得的流量信 號與預設的流量信號進行比較后經過以放大器與所述電磁閥的控制端連 接。
2.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體光源的供氣系統，其特征在于： 所述質量流量控制器與計算機連接。
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