[發明專利]固體攝像裝置及其讀出方法

無效

• 申請號: 200910223634.2
• 申請日: 2009-11-18
• 公開（公告）號: CN101742055A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 原田耕一;萩原浩樹;菊地裕介;鈴木啟太
• 申請（專利權）人: 索尼株式會社
• 主分類號: H04N3/15
• 分類號: H04N3/15;H04N5/335
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳孟秋;梁韜

相關申請的引用

本發明包含2008年11月19日向日本專利局提交的日本優先 權專利申請JP200-295194所披露的主題，將其全部內容結合于此作 為參考。

技術領域

本發明涉及一種固體攝像裝置(固態成像裝置，solid-state imaging?device)及其讀出方法。

背景技術

已經提出了垂直CCD移位寄存器被水平轉移方向相鄰的兩像 素共用，從而增加傳感器開口率(sensor?aperture)的技術(例如， 參見日本未審查專利申請公開第2001-60681號)。然而，在日本未 審查專利申請公開第2001-60681號中提出的構造的情況下，在水平 轉移方向共用讀出電極，并且讀出電壓施加在垂直轉移方向的像素 之間，因此產生了像素之間混色的問題。

發明內容

上述構造的問題在于，在水平轉移方向共用讀出電極，并且讀 出電壓施加在垂直轉移方向的像素之間，導致像素之間的混色。

人們希望利用在水平傳送方向相鄰的兩像素共用垂直CCD移 位寄存器的電荷耦合攝像裝置能夠消除像素間混色。

根據本發明的實施方式，提供了一種固體攝像裝置(第一固體 攝像裝置)，包括：沿垂直轉移方向和水平轉移方向布置的多個像 素；設置在多個像素的水平轉移方向的相鄰兩像素之間的垂直CCD 移位寄存器；在像素之間用于分離的第一溝道停止部，在所述水平 轉移方向的相鄰兩像素與在水平轉移方向和所述水平轉移方向相 鄰的兩像素相鄰的像素之間形成；以及讀出柵極部和第二溝道停止 部，在所述像素和垂直CCD移位寄存器之間的與垂直轉移方向平 行的方向上形成，其中所述水平轉移方向的相鄰兩像素共用垂直 CCD移位寄存器，并且在第一溝道停止部上方形成比垂直CCD移 位寄存器的柵極絕緣層厚的絕緣層。

利用上述固體攝像裝置(第一固體攝像裝置)，形成在第一溝 道停止部上方的絕緣層被形成為比垂直CCD移位寄存器的柵極絕 緣層更厚，因此，即使在讀出電壓施加在垂直轉移方向的像素之間 的情形下，像素間的電壓也沒有耗盡。

根據本發明的實施方式，提供了一種固體攝像裝置(第二固體 攝像裝置)，包括：沿垂直轉移方向和水平轉移方向布置的多個像 素；垂直CCD移位寄存器，設置在多個像素的水平轉移方向的相 鄰兩像素之間；在像素之間用于分離的第一溝道停止部，在所述水 平轉移方向的相鄰兩像素與在水平轉移方向上和所述水平轉移方 向的相鄰兩像素相鄰的像素之間形成；以及讀出柵極部和第二溝道 停止部，在所述像素和垂直CCD移位寄存器之間的與垂直轉移方 向平行的方向上形成，其中所述水平轉移方向的相鄰兩像素共用垂 直CCD移位寄存器，垂直CCD移位寄存器的轉移電極是每個像素 具有3電極結構的轉移電極，并且具有3電極結構的一個轉移電極 中的一部分經由讀出柵極絕緣層而形成在垂直轉移方向的讀出柵 極部的上方。

利用上述固體攝像裝置(第二固體攝像裝置)，垂直CCD移位 寄存器的轉移電極是每一像素具有3電極結構的轉移電極，因此， 讀出電壓不施加在垂直轉移方向的像素之間。

根據本發明的實施方式，提供了一種固體攝像裝置(第三固體 攝像裝置)，包括：多個像素，沿垂直轉移方向和水平轉移方向布 置；垂直CCD移位寄存器，設置在多個像素的水平轉移方向的相 鄰兩像素之間；在像素之間用于分離的第一溝道停止部，在所述水 平轉移方向的相鄰兩像素與在水平轉移方向上和所述水平轉移方 向的相鄰兩像素相鄰的像素之間形成；以及讀出柵極部和第二溝道 停止部，在像素和垂直CCD移位寄存器之間、與垂直轉移方向平 行的方向上形成，其中所述水平轉移方向的相鄰兩像素共用垂直 CCD移位寄存器，并且讀出電極獨立于垂直CCD移位寄存器的轉 移電極經由讀出柵極絕緣層形成在讀出柵極部的上方。

利用上述固體攝像裝置(第三固體攝像裝置)，讀出電極獨立 于垂直CCD移位寄存器的轉移電極經由讀出柵極絕緣層形成在讀 出柵極部的上方，因此，讀出電壓沒有施加在垂直轉移方向的像素 之間。