[發(fā)明專利]一種釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910219600.6
• 申請(qǐng)日: 2009-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN101710502A
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?jiān)?/a>;金利華;盧亞鋒;李成山;張國防
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北有色金屬研究院
• 主分類號(hào): H01B13/00
• 分類號(hào): H01B13/00;H01B12/06
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜的制備方法，其特征在于該方法包括以下步驟：

(1)將前驅(qū)體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充分溶解，在溫度60℃-80℃條件下回流6-10小時(shí)，得到Y(jié)、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀上反復(fù)減壓蒸餾得純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y(jié)、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為c的釔鋇銅氧前驅(qū)液，1.5≤c≤2.0mol/L，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為15-20∶1；

(2)在密閉的玻璃罩中通入氬氣或氮?dú)膺M(jìn)行氣體交換，在涂覆環(huán)境溫度低于30℃和涂覆環(huán)境相對(duì)濕度低于40％的條件下，將步驟(1)中的釔鋇銅氧前驅(qū)液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaAlO₃單晶基片上，然后將旋涂好的LaAlO₃單晶基片置于管式爐中進(jìn)行低溫?zé)崽幚?，低溫?zé)崽幚項(xiàng)l件為：氧氣流速保持為3-20mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，150℃開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610.5-1228Pa，從室溫到200℃以3℃/分鐘的升溫速率加熱，在200-250℃溫區(qū)內(nèi)以0.14℃/分鐘的升溫速率加熱，在250-400℃溫區(qū)內(nèi)以1℃/分鐘的升溫速率加熱，400℃以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫，即獲得均勻完整的釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜；所述氬氣或氮?dú)獾捏w積純度均≥99.999％。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜的制備方法，其特征在于：步驟(1)中所述無水甲醇和丙二酸的體積比為20∶1。