[發(fā)明專利]一種球面實芯微通道板制備裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910218056.3
• 申請日: 2009-12-22
• 公開（公告）號: CN101728146A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發(fā)明（設計）人: 尼啟良;陳波;劉世界
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00;H01J43/04
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 劉樹清

技術領域

本發(fā)明屬于X射線、γ射線、宇宙射線、紫外線、帶電粒子的探測技術領域，涉及的一種球面實芯微通道板的制備裝置。

背景技術

平面微通道板是一種二維連續(xù)電子倍增的電真空器件，它是由許多具有連續(xù)電子倍增能力的通道按一定的幾何圖案排列而成。在其兩端加上一定的電壓，能夠獲得很高的電子增益，對極其微弱的二維電子圖像進行倍增和放大。

微通道板既可用于探測從近紅外到硬X射線波段的光輻射，也可用于探測電子、離子、α粒子及γ射線和宇宙射線。目前，微通道板主要應用于光子計數(shù)成像探測和微光夜視成像等領域，使用微通道板作為像增強器的位置靈敏光子計數(shù)成像探測器已經(jīng)被廣泛應用于空間科學(空間天文學、空間等離子體物理學、深空探測等)、同步輻射物理學、化學、材料科學、光學(熒光成像、拉曼光譜)和生物醫(yī)學等領域。

對于大視場光學成像系統(tǒng)，平面微通道板不能滿足成像質量要求，球面微通道板可以消除球差造成的畸變，進而提高大視場光學成像系統(tǒng)的成像質量，因此，制備球面微通道板的裝置是業(yè)內(nèi)人士極為關注的問題。與本發(fā)明最為接近的已有技術是申請?zhí)枮?00410073378.0的發(fā)明專利中提供的一種球面實芯微通道板的制備?裝置，如圖1所示：包括圓筒形定位胎具1、凹球面柱形下胎具2、平面實芯微通道板3、凸球面柱形上胎具4、配重塊5、下胎具排氣孔6。

將平面實芯微通道板3放置在凹球面柱形下胎具2的上面，在凹球面柱形下胎具2的靠近邊緣處開有軸向下胎具排氣孔6，將圓筒形定位胎具1置于平面實芯微通道板3之上，凸球面柱形上胎具4通過圓筒形定位胎具1的上內(nèi)筒壓在平面實芯微通道板3的上面，在凸球面柱形上胎具4的軸桿上放置配重塊5，凸球面柱形上胎具4的凸球面的曲率半徑與凹球面柱形下胎具2的凹球面的曲率半徑相同。將整個裝置放入加熱爐內(nèi)，當溫度達到平面實芯微通道板3的軟化點溫度時，在凸球面柱形上胎具4和配重塊5的重力作用下，平面實芯微通道板3被壓成具有環(huán)狀平面邊緣的球冠狀曲面，其上表面曲率半徑與凸球面柱形上胎具4的凸球面的曲率半徑相同，其下表面曲率半徑與凹球面柱形下胎具2的凹球面的曲率半徑相同。

上述制備球面實芯微通道板的裝置存在的主要缺陷：一是下胎具排氣孔6位于凹球面柱形下胎具2的邊緣軸向，制備過程中平面實芯微通道板3邊緣部分的預先彎曲導致下胎具排氣孔6被堵死，凹球面柱形下胎具2與平面實芯微通道板3之間的氣體無法排除，使制備出的球面實芯微通道板表面有突起或氣泡；二是凸球面柱形上胎具4的球面只有一點與平面實芯微通道板3接觸，無法保證凸球面柱形上胎具4的球面與凹球面柱形下胎具2的球面完全平行，導致制備出的球面實芯微通道板的兩表面不平行，曲率半徑不同；三是導致制備出的?球面實芯微通道板3的環(huán)狀平面邊緣出現(xiàn)褶皺。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服已有技術存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于提高球面實芯微通道板的質量和成品率，特設計一種球面實芯微通道板的制備裝置。