[發(fā)明專利]硅片線切割機(jī)的切割總成

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910216954.5
• 申請日: 2009-12-29
• 公開（公告）號: CN101767306A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尚春祥
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽神合電子科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: B24B27/06
• 分類號: B24B27/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.硅片線切割機(jī)的切割總成，主要由主動(dòng)輥輪(1)、從動(dòng)輥輪 (2)、端板(4)和切割線(3)構(gòu)成，主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪(2) 由端板(4)支撐，主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪(2)上分別分布有各 自獨(dú)立的線槽(5)，線槽(5)呈繞輥輪一周的環(huán)形，主動(dòng)輥輪(1) 和從動(dòng)輥輪(2)上的線槽數(shù)相等，切割線(3)繞設(shè)在主動(dòng)輥輪(1) 和從動(dòng)輥輪(2)上的線槽(5)內(nèi)，所述的切割線(3)為環(huán)狀，其 數(shù)量與主動(dòng)輥輪(1)的線槽數(shù)量相等；切割線(3)設(shè)置在主動(dòng)輥輪 (1)與從動(dòng)輥輪(2)上的位置相對應(yīng)的線槽(5)內(nèi)；設(shè)有一個(gè)主 動(dòng)輥輪(1)和兩個(gè)從動(dòng)輥輪(2)，主動(dòng)輥輪(1)和兩個(gè)從動(dòng)輥輪(2) 成三角形布置；其特征在于：主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪(2)上均設(shè) 有導(dǎo)軌槽(7)，導(dǎo)軌槽(7)呈環(huán)形設(shè)置在主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪 (2)的一端，導(dǎo)軌槽(7)與安裝在端板(4)上的半圓狀導(dǎo)軌(6) 吻合；主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪(2)由左右兩個(gè)端板兩端(4)固 定，端板(4)上設(shè)有與主動(dòng)輥輪(1)平行的連接桿(9)，通過四根 連接桿端頭的變徑和螺母，把端板與輥輪連接固定為一個(gè)整體，并能 夠從機(jī)體的固定框架(11)中取出；其中兩根連接桿(9)為中空結(jié) 構(gòu)并設(shè)有噴水孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī)的切割總成，其特征在 于：所述的主動(dòng)輥輪(1)和從動(dòng)輥輪(2)上設(shè)有同步帶輪(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī)的切割總成，其特征在 于：所述的導(dǎo)軌槽(7)，其橫斷面為V形、矩形、燕尾形或圓弧形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī)的切割總成，其特征在 于：所述的線槽(5)，其槽寬為0.09～0.16mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī)的切割總成，其特征在 于：所述的線槽(5)，其槽深為0.15-0.25mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機(jī)的切割總成，其特征在 于：任意兩個(gè)相鄰線槽(5)之間的間距相等，為0.15～0.25mm。