[發明專利]缺陷修復裝置

無效

• 申請號: 200910210766.1
• 申請日: 2009-11-09
• 公開（公告）號: CN101733545A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 中村達哉;赤羽隆之
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23P6/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉

1.一種缺陷修復裝置，該缺陷修復裝置通過光纖將從激光光源出射 的激光引導到加工頭而修復基板上的缺陷部分，

該缺陷修復裝置的特征在于，

該缺陷修復裝置包括：

基板臺，其使所述基板保持平面狀態；

門式臺架，其隔著所述基板臺進行架設；

驅動機構，其使所述基板臺和所述臺架相對移動；

安裝部，其能夠沿著所述臺架的水平梁進行移動，并一體安裝有所 述激光光源和加工頭；

光纖，其對一體安裝在所述安裝部上的所述激光光源與所述加工頭 之間進行連接；以及

多個攪模器，將所述光纖向互不相同的方向微微彎曲而調整光 纖內的模式分布；

其中，所述光纖配置為，作為出射側的所述加工頭側的端部相對于 所述加工頭的入射光軸以直線狀延伸；

所述光纖具有固定部件，該固定部件設置在所述安裝部上，并將所 述端部以直線狀進行固定。

2.根據權利要求1所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述多個攪模器通過從互不相同的方向對所述光纖施加按壓力來對 所述光纖賦予彎曲應力，以使所述光纖向互不相同的方向微微彎曲。

3.根據權利要求2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述多個攪模器以相對于所述光纖相互正交的方式配置有2個。

4.根據權利要求1或2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述攪模器隔著所述光纖在一側配置2個螺釘，在作為該2個螺釘 之間的所述光纖的另一側配置1個螺釘，通過螺合所述螺釘中的至少1 個來調整對所述光纖的按壓量。

5.根據權利要求1或2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述攪模器隔著所述光纖在一側配置2個銷，在作為該2個銷之間 的所述光纖的另一側配置1個螺釘，通過螺合所述1個螺釘來調整對所 述光纖的按壓量。

6.根據權利要求1或2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述攪模器隔著所述光纖在一側配置2個螺釘，并在作為該2個螺 釘之間的所述光纖的另一側配置1個螺釘，通過螺合所述2個螺釘來調 整對所述光纖的按壓量。

7.根據權利要求1或2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述攪模器隔著所述光纖在一側配置2個銷或突起，并在作為該2 個銷或突起之間的所述光纖的另一側配置1個銷或突起。

8.根據權利要求1或2所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述攪模器形成有插入所述光纖而使該光纖微微彎曲的蜿蜒的槽。

9.根據權利要求1所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述安裝部包括：

激光單元安裝部，其能夠沿著所述臺架的水平梁的上面移動，用于 安裝所述激光光源；以及

頭安裝部，其能夠沿著所述臺架的水平梁的側方移動，用于安裝所 述加工頭，

所述激光單元安裝部和頭安裝部相對于所述臺架一體地移動。

10.根據權利要求1所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述激光光源包括：

激光振蕩部，其使激光振蕩；以及

耦合鏡，其將通過該激光振蕩部進行了振蕩的激光耦合到所述光纖 的端部，

所述耦合鏡配置為能夠調整與所述激光振蕩部之間的相對位置。

11.根據權利要求10所述的缺陷修復裝置，其特征在于，

所述激光光源還包括反射部件，該反射部件將通過所述振蕩部進行 了振蕩的激光反射到所述耦合鏡，

所述耦合鏡和所述反射部件配置為能夠調整與所述激光振蕩部之間 的相對位置，

所述耦合鏡配置為能夠調整與所述反射部件之間的相對位置。