[發明專利]一種等離子加強化學氣相沉積設備有效
| 申請號： | 200910209159.3 | 申請日： | 2009-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN101693991A | 公開（公告）日： | 2010-04-14 |
| 發明（設計）人： | 代飛順;郭鐵 | 申請（專利權）人： | 新奧光伏能源有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/52 | 分類號： | C23C16/52;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭潤湘 |
| 地址： | 065001 河北省*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子 加強 化學 沉積 設備 | ||
1.一種等離子加強化學氣相沉積PECVD設備，包括：PECVD沉積腔室(201)、熱交換器(202)和熱交換管路(203)；所述PECVD沉積腔室(201)包括支撐板(2011)和基座(2012)，所述熱交換器(202)用于對熱交換管路(203)中的流體進行加熱；其特征在于，所述熱交換管路(203)一端與所述熱交換器(202)連接；另一端分為兩個支路(2031；2032)分別通向PECVD沉積腔室(201)的支撐板(2011)和基座(2012)，用于加熱所述支撐板(2011)和所述基座(2012)以達到設定的溫度。
2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括：分流控制裝置(204)，設置于熱交換管路兩個支路(2031；2032)的交叉點，用于對通向所述支撐板的支路(2031)以及通向所述基座的支路(2032)的流體的流量分別進行控制，使其達到設定的溫度。
3.如權利要求2所述的設備，其特征在于，所述分流控制裝置(204)，具體包括：第一限流裝置(2041)和第二限流裝置(2042)；
所述第一限流裝置(2041)與熱交換管路的一個支路(2031)連接；第二限流裝置(2042)與熱交換管路的另一個支路(2032)連接；
所述第一限流裝置(2041)和第二限流裝置(2042)中設置有溫度探測儀，用于根據其溫度探測儀反饋的溫度以及預設的溫度，對熱交換管路的兩個支路(2031；2032)中的流體的流量分別進行控制。
4.如權利要求3所述的設備，其特征在于，所述第一限流裝置(2041)和第二限流裝置(2042)中還設置有報警裝置，用于當兩個支路(2031；2032)中的流體的流量超出設定的范圍時，進行報警。
5.如權利要求2所述的設備，其特征在于，所述分流控制裝置(204)采用分流調流閥，用于調節通向熱交換管路的兩個支路(2031；2032)中的流體的流量比例，對所述兩個支路(2031；2032)中的流體的流量進行控制。
6.如權利要求5所述的設備，其特征在于，所述分流控制裝置(204)，?還用于在所述PECVD沉積腔室(201)的支撐板(2011)到達設定的溫度并穩定后，截止通向所述支撐板(2011)的支路中流體。
7.如權利要求1所述的設備，其特征在于，通向所述PECVD沉積腔室(201)的支撐板(2011)的支路與該支撐板(2011)中布置的流體管路相連。?
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
