[發明專利]有機電致發光顯示器及其制造方法無效
| 申請號: | 200910208128.6 | 申請日: | 2009-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN101728421A | 公開(公告)日: | 2010-06-09 |
| 發明(設計)人: | 高木一成;中村和夫 | 申請(專利權)人: | 索尼株式會社 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L23/528;H01L21/82;H01L21/768 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人: | 宋海寧 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 電致發光 顯示器 及其 制造 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種設置有輔助布線的有機EL顯示器及其制造方 法。
背景技術
近些年來,正在關注有機EL元件,有機EL元件利用有機材料 的電致發光(EL)現象,以作為能夠基于低壓DC驅動發射高亮度光的 發光元件。利用有機EL元件驅動顯示裝置(有機EL顯示器)的方 法,涉及簡單矩陣方法和有源矩陣方法。在像素數目較大的情況下, 適于采用有源矩陣方法。
在有源矩陣方法的有機EL顯示器中,用于驅動各個像素(有機 EL元件)的薄膜晶體管、連接到薄膜晶體管的第一電極、包括發光層 的有機層、和第二電極以此順序設置在襯底上。這種有機EL顯示器 中,為了確保每個像素的孔徑比,優選地從與襯底相對的一側提取 光,也就是說,采用表面發射結構(下文稱作“表面發射型”)。表面發 射型的有機EL顯示器中,第二電極由透明或半透明電極材料構成。
然而,這種透明電極材料通常具有高的電阻值并且第二電極形成 為像素的公共電極。由此,表面發射型的有機EL顯示器中,第二電 極中易出現壓降。這導致顯示性能的顯著惡化。為了抑制這種壓降的 發生,利用一種在像素之間的區域內設置輔助布線的方法。具體地, 與第一電極電絕緣的輔助布線被放置在襯底上的第一電極側、并且電 連接到第二電極。
許多情況下,有機層形成于襯底的整個表面上。由于有機層還形 成于輔助布線上,輔助布線與第二電極之間的接觸有可能由于有機層 而惡化。即使在利用掩膜以像素為單位來形成有機層的情況下,如果 掩膜定位精確度或者處理掩膜中的開口的精確度較低,有機層會形成 于輔助布線上,導致與第二電極的接觸惡化。
因此,例如日本未審專利申請公開No.2005-11810和2006- 286493公開的方法中提議了利用激光束照射有機層中的輔助布線上 的區域以選擇性去除輔助布線上的有機層。
發明內容
然而,日本未審專利申請公開No.2005-11810和2006-286493 中,激光束照射設備是必需的。照射位置等需要嚴格對齊,由此使操 作時間增大并且過程復雜。
由此期望提供一種有機EL顯示器及其制造方法,其中僅通過簡 單過程就能夠確保輔助布線與第二電極之間的良好電連接,而不需要 利用大規模設備。
根據本發明的實施例,提供了一種有機EL顯示器,包括:多個 像素,每個像素從襯底側依次包括第一電極、包括發光層的有機層和 第二電極;輔助布線,放置在這些多個像素的每個像素的外圍區域中 并且與第二電極導通;以及另一個輔助布線,被放置為在至少在襯底 表面中所述輔助布線的形成區域的外圍的一部分中與所述輔助布線分 離。
根據本發明的實施例,提供了一種制造有機EL顯示器的方法, 包括如下步驟:在襯底上為每個像素形成第一電極;在襯底上在每個 像素的外圍區域中形成輔助布線;形成另一個輔助布線,以與所述輔 助布線電絕緣;在整個第一電極和輔助布線之上形成包括發光層的有 機層;通過經由輔助布線和另一個輔助布線施加反向偏置電壓到所述 有機層,在有機層中與輔助布線對應的區域中形成連接孔;以及在有 機層上形成第二電極以掩埋連接孔。
在制造本發明的實施例的有機EL顯示器的方法中,通過經由形 成為電絕緣的輔助布線和另一個輔助布線向有機層施加反向偏置電 壓,僅選擇性地去除了有機層中的輔助布線上的區域。通過掩埋去除 的區域作為與第二電極的連接孔,可以確保輔助布線與第二電極之間 的良好電連接。
根據制造本發明的實施例的有機EL顯示器的方法,另一個輔助 布線被形成為與所述輔助布線電絕緣。然后,經由輔助布線和另一個 輔助布線向有機層施加反向偏置電壓。由此,不需要利用激光束照射 設備并且不需要執行精確對齊,可以去除形成于輔助布線上的有機 層。因此,不需要利用大規模設備,僅通過簡單過程就可以確保輔助 布線與第二電極之間的良好電連接。結果,在本發明的實施例的有機 EL顯示器中,有效抑制了第二電極中壓降的發生,從而更易保持良 好的顯示質量。
基于下面描述,本發明的其它和另外目的、特征和優點將變得更 加全面。
附圖說明
圖1是示出根據本發明實施例的有機EL顯示器的示意性結構的 截面圖。
圖2示出圖1所示的輔助布線、反向偏置布線等的平面結構。
圖3A和3B是以處理順序示出制造圖1所示的有機EL顯示器 的方法的截面圖。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





