[發明專利]電站系統

無效

• 申請號: 200910207244.6
• 申請日: 2009-10-22
• 公開（公告）號: CN102044903A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 徐輝
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: H02J7/34
• 分類號: H02J7/34;H02J9/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳靖靚;李麗

技術領域

本發明涉及半導體制造領域的電站系統。

背景技術

半導體產品的制造廠區主要包括：制造廠房(FAB，Fabrication?Building)、中央動力廠房(CUB，Center?Utility?Building)、支援廠房(SB，Supply?Building)和電力供應廠房(PSB，Power?Supply?Building)等。

FAB是產品的制造中心，里面為無塵室，晶圓、芯片等都在FAB的無塵室里生產；CUB供應制造工藝所需要的能源和動力，例如水、空調、電以及一些化學藥劑或者氣體；SB對CUB提供的能源和動力進行分配和整合，并提供給FAB；FAB、CUB和SB里都有獨立的電站，各電站的電力由PSB分配。SB是連接CUB和FAB的樞紐，SB電站運行的穩定性對半導體產品制造有著重要作用。

請參考圖1，由于環境和條件的限制，現有的SB電站通常僅包括兩套供電單元，即交流供電單元A1和直流供電單元A2；SB電站的轉換單元A3將交流供電單元A1提供的380V三相交流電轉換為SB的工作設備10所需的直流電。交流供電單元A1為工作設備10的主供電，直流供電單元A2為工作設備10的備用供電，當交流供電單元A1出現供電故障時，即切換直流供電單元A2向工作設備10供電。

然而，由于上述SB電站只有兩套供電單元，其供電可靠性和運行穩定性并不高；而且，現有SB電站的直流供電系統也沒有放電功能測試，其存在的故障隱患也較大，一旦交流供電單元斷電并且直流供電單元也出現故障，SB電站就處于關閉狀態，這將對SB和FAB的工作設備造成較大的影響。

為提高SB電站的可靠性的穩定性，可以增加一套交流供電單元或直流供電單元，然而，受現有SB的空間限制，增加一套交流供電單元會比較困難；并且增加一套交流供電單元或直流供電單元不僅費用成本高，而且還會增加系統預防性維護(PM---Preventive?Maintenance)的工作量。

發明內容

本發明解決的問題是，提供一種電站系統，以提高供電可靠性和運行穩定性。

為解決上述問題，本發明提供一種電站系統，包括支援廠房電站和制造廠房電站，所述支援廠房電站包括第一直流供電單元，所述制造廠房電站包括第二直流供電單元，其特征在于，所述第一直流供電單元與第二直流供電單元并聯。

可選的，所述第一直流供電單元為電池或電池組。

可選的，所述第二直流供電單元為電池或電池組。

可選的，所述支援廠房電站還包括：直流開關單元，將所述第一直流供電單元接入支援廠房的工作設備，或斷開所述第一直流供電單元和支援廠房的工作設備的連接。

可選的，所述支援廠房電站還包括：交流供電單元和將所述交流供電單元提供的交流電轉換成直流電的轉換單元。

可選的，所述支援廠房電站還包括：交流開關單元，將所述交流供電單元接入支援廠房的工作設備，或斷開所述交流供電單元和支援廠房的工作設備的連接。

可選的，所述支援廠房電站還包括：切換單元，切換所述交流供電單元和第一直流供電單元與支援廠房的工作設備的連接或斷開。

可選的，所述切換單元在所述交流供電單元斷電時，將所述第一直流供電單元接入支援廠房的工作設備。

可選的，所述切換單元在所述交流供電單元恢復供電時，將所述交流供電單元接入支援廠房的工作設備。

與現有技術相比，上述技術方案將SB電站的直流供電單元和FAB電站的直流供電單元并聯，既不需要增加其他單元，也不需要改變其他單元，就可以給SB電站增加一套備用供電，因而提高了SB電站的供電可靠性和運行穩定性。

同樣地，上述技術方案也給FAB電站增加了一套備用供電，因而也提高了FAB電站的供電可靠性和運行穩定性。

另外，上述技術方案相比于增加一套交流供電單元或直流供電單元來說，還具有實現簡單，成本低和效率高等優點。

附圖說明

圖1是現有的SB電站的結構示意圖；

圖2是本發明實施方式的電站系統的結構示意圖；

圖3是本發明實施例的電站系統的結構示意圖。

具體實施方式

本發明實施方式的電站系統將SB電站的直流供電單元和FAB電站的直流供電單元并聯，在不增加或改變其他裝置的情況下就可以提高電站的供電可靠性和運行穩定性。