[發明專利]光學測量設備無效
| 申請號: | 200910205674.4 | 申請日: | 2009-10-16 |
| 公開(公告)號: | CN101726461A | 公開(公告)日: | 2010-06-09 |
| 發明(設計)人: | 今西慎悟;新井健雄;堂脅優 | 申請(專利權)人: | 索尼株式會社 |
| 主分類號: | G01N21/01 | 分類號: | G01N21/01;G01N21/64 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 杜誠;陳煒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 測量 設備 | ||
1.一種光學測量設備,包括:
光施加部分,配置為向在通道中流動的樣品施加激光;
熒光檢測部分,配置為檢測從用所述激光照射的所述樣品產生的熒光;
所述熒光檢測部分包括:
具有能夠同時檢測多個光束的多個檢測通道的多通道光電倍增管,
光分離器,配置為根據波長分離所述熒光以提供所述多個光束,通過透射光柵或棱鏡提供所述光分離器,以及
遠心匯聚透鏡,配置為從所述光分離器接收所述多個光束,并將所述多個光束導向所述多通道光電倍增管的所述多個檢測通道,使得所述多個光束的光軸彼此平行。
2.根據權利要求1所述的光學測量設備,其中,通過組合多個不同特性的透鏡配置所述遠心匯聚透鏡,并且所述遠心匯聚透鏡對500到800nm波長范圍的光具有90%或更高的透射率。
3.根據權利要求2所述的光學測量設備,其中,通過所述棱鏡提供所述光分離器,且所述遠心匯聚透鏡包括非球面透鏡。
4.根據權利要求1所述的光學測量設備,其中,所述光分離器包括至少一個具有正折射率溫度系數的棱鏡和至少一個具有負折射率溫度系數的棱鏡。
5.根據權利要求1所述的光學測量設備,其中
所述熒光檢測部分還包括在所述遠心匯聚透鏡和所述多通道光電倍增管之間設置的微透鏡陣列;以及
從所述遠心匯聚透鏡出射的所述多個光束通過所述微透鏡陣列,以進入所述多通道光電倍增管的所述多個檢測通道。
6.根據權利要求5所述的光學測量設備,其中
所述微透鏡陣列由多個圓柱透鏡組成,所述多個圓柱透鏡排列為使所述圓柱透鏡的軸彼此平行,所述圓柱透鏡的數量對應于所述多通道光電倍增管的所述檢測通道的數量;以及
所述圓柱透鏡的排列方向與所述多通道光電倍增管的所述檢測通道的排列方向相同。
7.根據權利要求1所述的光學測量設備,其中
所述熒光檢測部分還包括配置為匯聚從所述樣品產生的所述熒光的物鏡;以及
通過組合不同特性的多個透鏡配置所述物鏡,并且所述物鏡具有8mm或更大的焦距、0.8或更大的數值孔徑NA以及150μm或更大的視場直徑。
8.根據權利要求7所述的光學測量設備,其中
所述熒光檢測部分還包括在所述物鏡和所述光分離器之間設置的矩形狹縫,所述矩形狹縫具有0.2到1.5mm的長度和0.4mm或更小的寬度;以及
所述狹縫排列為使得所述狹縫的縱方向與所述樣品的流動方向平行。
9.根據權利要求7所述的光學測量設備,其中,所述熒光檢測部分還包括在所述物鏡和所述光分離器之間設置的針孔。
10.根據權利要求7所述的光學測量設備,其中,所述熒光檢測部分還包括在所述物鏡和所述光分離器之間設置的偏振分束器和菲涅耳棱體;
所述偏振分束器能夠將具有500到800nm波長范圍的光分離為平行偏振光分量和正交偏振光分量;
所述菲涅耳棱體能夠將由所述偏振分束器分離的所述平行偏振光分量和所述正交偏振光分量之一的偏振方向旋轉90°。
11.一種光學測量設備,包括:
光施加裝置,用于向在通道中流動的樣品施加激光;
熒光檢測裝置,用于檢測從利用所述激光照射的所述樣品產生的熒光;
所述熒光檢測裝置包括:
具有能夠同時檢測多個光束的多個檢測通道的多通道光電倍增管,
光分離器,用于根據波長分離所述熒光以提供所述多個光束,通過透射光柵或棱鏡提供所述光分離器,以及
遠心匯聚透鏡,用于從所述光分離器接收所述多個光束,并將所述多個光束導向所述多通道光電倍增管的所述多個檢測通道,使得所述多個光束的光軸彼此平行。
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