[發(fā)明專利]微波等離子處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910202907.5
• 申請日: 2009-05-18
• 公開（公告）號: CN101599408A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設計）人: 西本伸也;坂田一成
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H05H1/46;H01L21/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種微波等離子處理裝置，其特征在于，該微波等離子處理裝置包括：

處理容器，其在內(nèi)部具有用于支承被處理基板的支承臺；

排氣系統(tǒng)，其與上述處理容器相結(jié)合；

氣體供給部，其與上述處理容器相結(jié)合，用于供給等離子體生成用氣體；

微波天線，其在上述處理容器上設置為真空密閉上述處理容器；

同軸波導管，其設置為在上述微波天線的大致中心向鉛直上方延伸；

同軸轉(zhuǎn)換器，其設于上述同軸波導管的、與上述微波天線相對一側(cè)的端部；

微波電源，其經(jīng)由上述同軸波導管及上述同軸轉(zhuǎn)換器與上述微波天線電結(jié)合，用于對上述微波天線供給規(guī)定的微波，

上述微波天線具有冷卻套、與該冷卻套相對地設置的滯波板、縫隙板，該縫隙板形成在該滯波板的、與設有上述冷卻套一側(cè)的主面相對一側(cè)的主面上，

上述縫隙板通過其端部被金屬體夾持而被支承及固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子處理裝置，其特征在于，

上述金屬體為一對金屬體，上述縫隙板的上述端部由上述一對金屬體從上下夾持地進行支承及固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子處理裝置，其特征在于，

上述金屬體為將金屬線材沿與上述縫隙板的上述主面大致平行的軸線卷繞而成的螺旋狀的金屬體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子處理裝置，其特征在于，

上述金屬體為將金屬帶沿與上述縫隙板的上述主面大致平行的軸線卷繞而成的螺旋狀的金屬體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子處理裝置，其特征在于，

上述金屬體為金屬制的板簧。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的微波等離子處理裝置，其特征在于，

上述金屬體由具有彈性的第1金屬構(gòu)件和形成在該第1金屬構(gòu)件的表面上的導電性良好的第2金屬構(gòu)件構(gòu)成。