[發(fā)明專利]用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)與對準(zhǔn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910201611.1
• 申請日: 2009-10-12
• 公開（公告）號: CN102043341A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)峰;王海江;韓悅;胡明輝
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G01N21/64
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于光刻設(shè)備的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，用以實(shí)現(xiàn)工件臺相對于掩模臺位置的確定，包括：

照明單元，用于提供紫外波長的激光脈沖；

掩模臺；

掩模臺位置測量單元；

掩模臺控制單元，用于控制掩模臺移動，并根據(jù)掩模臺位置測量單元所獲得的掩模臺位置數(shù)據(jù)將掩模標(biāo)記定位到特定位置；

投影物鏡，用于對掩模標(biāo)記進(jìn)行成像；

工件臺；

工件臺位置測量單元；

工件臺控制單元，用于控制工件臺移動，并根據(jù)工件臺位置測量單元所獲得的工件臺的位置數(shù)據(jù)將工件臺標(biāo)記定位到特定位置，并根據(jù)對準(zhǔn)掃描參數(shù)進(jìn)行水平運(yùn)動；

光強(qiáng)采集單元，用于采集掩模標(biāo)記的像掃描過工件臺標(biāo)記時(shí)透過的光強(qiáng)信號；以及

對準(zhǔn)操作單元，用于控制對準(zhǔn)掃描參數(shù)的下發(fā)、光強(qiáng)和位置的同步采樣，實(shí)現(xiàn)由光強(qiáng)-位置采樣對組成的對準(zhǔn)信號的擬合處理和對準(zhǔn)位置計(jì)算，其特征在于采用高斯函數(shù)作為對準(zhǔn)信號擬合模型，該函數(shù)為：

I(xi)=Ae-(cxi-ab)2]]>

其中，x_i為光強(qiáng)-位置采樣對中的位置數(shù)據(jù)，I(x_i)為光強(qiáng)-位置采樣對中對應(yīng)位置x_i的光強(qiáng)數(shù)據(jù)，a、b、c和A為模型待定參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，其特征在于，所述照明單元包括激光器和控制組件，所述激光器產(chǎn)生激光脈沖，所述控制組件控制脈沖頻率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，其特征在于所述光強(qiáng)采集單元包括集成傳感器和光強(qiáng)采集板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，其特征在于所述集成傳感器受到紫外波長的激光脈沖激發(fā)后產(chǎn)生可見波長段的熒光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，其特征在于所述集成傳感器包括光電探測器和放大環(huán)節(jié)，所述熒光經(jīng)光電探測器轉(zhuǎn)化為電信號，并經(jīng)所述放大環(huán)節(jié)對信號進(jìn)行放大。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對準(zhǔn)信號采集系統(tǒng)，其特征在于所述光強(qiáng)采集板根據(jù)所述對準(zhǔn)操作單元的時(shí)序控制，采集所述集成傳感器探測到的光強(qiáng)數(shù)據(jù)。