[發(fā)明專利]一種化學(xué)機(jī)械拋光液

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910200315.X
• 申請(qǐng)日: 2009-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN102093816B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王晨;何華鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安集微電子(上海)有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02;C23F3/04
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務(wù)所31246
• 代理人: 李佳銘

1.一種化學(xué)機(jī)械拋光液，含有水，研磨劑，氧化劑和水溶性陽(yáng)離子表面活性劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，所述的研磨劑為氣相二氧化硅(fumedsilica)和/或硅溶膠(colloidal?silica)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，所述的氧化劑為含鐵氧化劑或含鐵氧化劑和其他氧化劑的組合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光液，所述的含鐵氧化劑為硝酸鐵。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光液，所述的含鐵氧化劑和其他氧化劑的組合物為硝酸鐵和單過(guò)硫酸氫鉀的組合物。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，所述的水溶性陽(yáng)離子表面活性劑為長(zhǎng)鏈烷基氯化銨、長(zhǎng)鏈烷基溴化銨、末端含硅氧鍵的長(zhǎng)鏈烷基氯化銨、吉米奇類型季銨鹽、聚合型季銨鹽中的一種或多種。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光液，所述的水溶性陽(yáng)離子表面活性劑優(yōu)選為十二烷基三甲基氯化銨、十二烷基三甲基溴化銨、芐基三甲基氯化銨、辛基三甲基氯化銨、3-三乙氧基硅基丙基三甲基氯化銨、十八烷基胺聚氧乙烯醚雙季銨鹽和/或聚季銨鹽-10中的一種或多種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，所述的研磨劑的質(zhì)量百分比為0.2％～4％。

9.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的拋光液，所述的硝酸鐵的質(zhì)量百分比為0.05％～1.5％。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，所述的水溶性陽(yáng)離子表面活性劑的濃度為100-500ppm。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液，pH值為1.5-2.5。