[發明專利]一種用于光刻機曝光分系統的快門裝置

無效

• 申請號: 200910200090.8
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN102087476A
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 孫智超;羅聞
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種用于光刻機曝光分系統的快門裝置，包括：

至少一片快門葉片；

快門控制器，控制所述快門葉片的開閉；

位置傳感器，耦接于所述快門控制器與所述快門葉片，并提供所述快門葉片的移動位置信息給所述快門控制器；

支架，位于所述快門控制器和所述位置傳感器的下方，為所述快門控制器和所述位置傳感器提供支撐；

其特征在于，還包括，

音圈電機，位于所述支架上，耦接于所述快門控制器，由所述快門控制器控制運動；所述音圈電機驅動所述快門葉片運動，從而形成所述快門葉片的開閉動作。

2.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片的厚度為0.5mm至2mm。

3.根據權利要求1或2所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片的為金屬材質。

4.根據權利要求3所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片的材料為金屬銅。

5.根據權利要求1或2所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片可承受的最高工作溫度為300攝氏度。

6.根據權利要求1、2或4所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片的表面鍍有高反光金屬涂層。

7.根據權利要求6所述的快門裝置，其特征在于，所述的高反光金屬涂層為紫外線反射材料。

8.根據權利要求6所述的快門裝置，其特征在于，所述的高反光金屬涂層為鉻、銀或者鉻銀合金中的任何一種。

9.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，所述快門葉片和所述音圈電機之間通過隔熱片連接在一起。

10.根據權利要求9所述的快門裝置，其特征在于，所述隔熱片為陶瓷材料。

11.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，所述快門控制器包括控制電路與驅動電路兩部分，所述控制電路接收所述移動位置信息，并對所述移動位置信息實現快門運動算法，產生快門控制信號，所述驅動電路耦接于所述控制電路，接收所述快門控制信號，驅動所述音圈電機。

12.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，還包括冷卻系統，位于所述快門葉片上方，用于降低所述快門葉片與所述音圈電機線圈的溫度。

13.根據權利要求12所述的快門裝置，其特征在于，所述冷卻系統為風冷卻系統。

14.根據權利要求13所述的快門裝置，其特征在于，所述音圈電機底部有壓縮空氣通孔，供所述風冷卻系統運行的空氣通過。

15.根據權利要求1或11所述的快門裝置，其特征在于，所述快門控制器還存在用戶操作的控制輸入端口，通過所述輸入端口輸入的高電平執行快門葉片的打開動作，通過所述輸入端口輸入的低電平控制快門葉片關閉動作。