[發明專利]應用于金剛線開方機的切割方法有效
| 申請號： | 200910199388.1 | 申請日： | 2009-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN102079112A | 公開（公告）日： | 2011-06-01 |
| 發明（設計）人： | 盧建偉 | 申請（專利權）人： | 上海日進機床有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;H01L21/304 |
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| 地址： | 201601 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應用于 金剛 開方 切割 方法 | ||
1.一種應用于金剛線開方機的切割方法，所述金剛線開方機至少包括機架、設置于機架上用于承載晶體硅棒的工作臺、位于工作臺兩側的立柱、可升降地分別設置于兩側立柱上的二切割輥、分別用于驅動所述二切割輥的二伺服電機、以及纏繞于所述二切割輥之間形成切割線的金剛線，其特征在于，所述切割方法至少包括以下步驟：
(1)設定使一切割輥上升的同時另一切割輥下降，使所述二切割輥之間的金剛線相對水平線保持傾斜角度；
(2)設定所述金剛線相對水平線的傾斜角度，設定所述二切割輥的升降交替周期，以及依據所述晶體硅棒的高度設定所述二切割輥下降的位移距離；
(3)將所述晶體硅棒固定于所述工作臺上；
(4)高速運行所述金剛線；
(5)同時下降所述二切割輥，使相對水平線保持傾斜角度的金剛線壓迫所述晶體硅棒；以及
(6)依據預先設定之所述二切割輥的升降交替周期以及所述二切割輥下降的位移距離對所述晶體硅棒進行切割作業。
2.如權利要求1所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：所述二伺服電機分別設置于所述立柱的頂側。
3.如權利要求2所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：所述切割輥與其對應的伺服電機之間設置有絲桿。
4.如權利要求3所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：所述伺服電機工作時驅動所述絲桿，藉由所述絲桿帶動切割輥進行升降。
5.如權利要求1所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：所述切割輥與機架之間設置有用以支撐所述切割輥重量的汽缸。
6.如權利要求1所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：于(2)步驟中，依據所述二切割輥之間的落差設定所述金剛線相對水平線的傾斜角度。
7.如權利要求1所述的應用于金剛線開方機的切割方法，其特征在于：于(2)步驟中，所述晶體硅棒的高度為其待切割面的高度。
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