[發明專利]平衡質量系統及其工件臺

有效

• 申請號: 200910199196.0
• 申請日: 2009-11-20
• 公開（公告）號: CN102073219A
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 鄭樂平;吳立偉;龐璐;方敏
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種平衡質量系統，適用于消減光刻工藝中工件臺的微動臺Rz方向的轉矩，上述工件臺包括基座、用以承載硅片的微動臺和用以驅動微動臺的粗動臺，該粗動臺包括兩個Y向長行程電機和分別連接至上述兩個Y向長行程電機的動子并由上述兩個Y向長行程電機驅動的兩個Y向長行程滑塊，其特征在于，該平衡質量系統包括：

下層平衡塊，具有兩個Y向氣浮導軌和兩個Y向導軌，上述兩個Y向導軌上分別可滑動地設置有上述粗動臺的兩個Y向長行程滑塊；以及

四個上層平衡塊，其端部利用多個柔性鉸鏈將其首尾相連，形成口字形狀，設置在下層平衡塊的兩個Y向氣浮導軌上，這些上層平衡塊具有兩個Y向電機定子導軌，上述粗動臺兩個Y向長行程電機的動子分別可滑動地設置在上述兩個Y向電機定子導軌上。

2.根據權利要求1所述的平衡質量系統，其特征在于，該下層平衡塊下部在X向與上述基座彈性連接，并在Y向垂直氣浮于上述基座。

3.根據權利要求1所述的平衡質量系統，其特征在于，該平衡質量系統還包括：

兩個支撐軸，分別固定在相互平行的兩個上層平衡塊上；以及

兩個運動負載，分別可滑動的設置于這些支撐軸上。

4.根據權利要求1所述的平衡質量系統，其特征在于，上述粗動臺還包括：

X向橫梁，其兩端固定在上述兩個Y向長行程滑塊上；以及

X向長行程電機設置在上述X向橫梁上，上述微動臺設置于上述X向橫梁上，由上述X向長行程電機驅動其沿X方向移動。

5.一種具平衡質量系統的工件臺，其特征在于，包括：

基座；

下層平衡塊，具有兩個Y向氣浮導軌和兩個Y向導軌，上述兩個Y向導軌上分別可滑動地設置有上述粗動臺的兩個Y向長行程滑塊；

四個上層平衡決，其頂端利用多個柔性鉸鏈將其首尾相連，形成口字形狀，設置在下層平衡塊的兩個Y向氣浮導軌上，這些上層平衡塊具有兩個Y向電機定子導軌；

粗動臺，包括：

Y向長行程電機，上述Y向長行程電機的動子可滑動地設置在上述兩個Y向電機定子導軌之一上；以及

X向長行程電機，上述X向長行程電機的定子安裝在上述Y向長行程電機的動子上，被上述Y向長行程電機的動子帶動沿Y向移動，上述X向長行程電機的動子被定子驅動，沿X向移動；

微動臺，用以承載硅片，由上述X向長行程電機驅動其沿X方向移動。

6.如權利要求5所述的具平衡質量系統的工件臺，其特征在于，該下層平衡塊下部在X向與上述基座彈性連接，并在Y向垂直氣浮于上述基座。

7.如權利要求5所述的具平衡質量系統的工件臺，其特征在于，其中該粗動臺中該Y向長行程電機的個數為2個，該X向長行程電機的個數為1個。

8.如權利要求5所述的具平衡質量系統的工件臺，其特征在于，其中該粗動臺還包括：

X向橫梁，其兩端固定在上述兩個Y向長行程滑塊上，上述X向長行程電機的動子和上述微動臺設置在上述X向橫梁上。

9.根據權利要求5所述的具平衡質量系統的工件臺，其特征在于，還包括：

兩個支撐軸，分別固定在相互平行的兩個上層平衡塊上；以及

兩個運動負載，分別可滑動的設置于上述這些支撐軸上。