[發明專利]在微懸臂梁表面一步制造羧酸功能化單層膜的方法有效
| 申請號： | 200910198994.1 | 申請日： | 2009-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN101712451A | 公開（公告）日： | 2010-05-26 |
| 發明（設計）人： | 許鵬程;李昕欣;陳瀅;于海濤;劉民 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | B81C99/00 | 分類號： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 懸臂梁 表面 一步 制造 羧酸 功能 單層 方法 | ||
1.在微懸臂梁表面一步制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于該方法的具體步驟為：
a)以去離子水為溶劑，在反應容器中加入硅烷化試劑，配成質量百分濃度為0.5-3％的反應液，并用不具氧化性的酸調節該反應液的pH值至酸性；
b)將經過清洗的微懸臂梁輕輕放入到反應器中，并使微懸臂梁的二氧化硅表面浸沒在步驟a)制備的反應液中，氮氣保護下，于60-90℃下進行反應；
c)待步驟b）所述的反應結束后，將微懸臂梁從反應液中取出并用去離子水沖洗，即可得到羧酸功能化自組裝單層膜修飾的微懸臂梁；
其中，所述的硅烷化試劑為三羥基硅基乙酸鈉水溶液，鈉鹽的質量百分濃度為25％，或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸鈉鹽水溶液，三鈉鹽的質量百分濃度為45％；
所述的不具氧化性的酸為鹽酸或者醋酸。
2.按權利要求1所述的制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于PH值為2-5；使用的反應容器為平底的反應容器。
3.按權利要求1所述的制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于步驟b）中的反應時間為10-100小時。
4.按權利要求1所述的制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于所述的微懸臂梁的清洗是在凈化室中分別用丙酮、乙醇和去離子水依次各浸泡微懸臂梁1-30分鐘，取出并在干燥氮氣流下干燥；用剛配制的Piranha溶液或者等離子體去膠機進一步清洗1-10分鐘。
5.按權利要求4所述的制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于所述的凈化室至少為千級。
6.按權利要求4所述的制造羧酸功能化單層膜的方法，其特征在于所述的等離子體去膠機的輸出功率為600W。?
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