[發明專利]彎曲結構金屬連線缺陷的檢測方法有效
| 申請號： | 200910198787.6 | 申請日： | 2009-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN102054722A | 公開（公告）日： | 2011-05-11 |
| 發明（設計）人： | 龔斌;郭強;章鳴;秦天;郭志蓉 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛崢;王麗琴 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 彎曲 結構 金屬 連線 缺陷 檢測 方法 | ||
1.一種帶電粒子束檢測彎曲結構金屬連線缺陷的方法，該方法包括：
彎曲結構金屬連線兩端為輸出端并接相同的電位；
帶電粒子束沿與金屬直線垂直的方向橫向檢測彎曲結構金屬連線的金屬直線上各點，通過橫向電流變化曲線變化確定缺陷的種類和位置范圍；
帶電粒子束在確定的缺陷位置范圍內沿金屬直線的方向縱向檢測彎曲結構金屬連線的金屬直線，通過縱向電流變化曲線變化對缺陷位置進行精確定位。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述帶電粒子束是帶電電子束或帶電離子束。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述帶電粒子束帶有恒定束流。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述橫向電流變化曲線是各輸出端電流與對應金屬直線上各點位置之間的對應關系，該對應關系可以為：各輸出端電流，各輸出端電流線性組合以及上述各輸出端電流或各輸出端電流線性組合隨檢測點位置改變的變化率與對應各點位置的關系。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述帶電粒子通過電流變化曲線變化確定缺陷的種類和位置范圍為：
當橫向電流變化曲線斜率不變，金屬連線上沒有缺陷；
當橫向電流變化曲線斜率增大，缺陷種類為孔洞或雜質缺陷，其位置范圍是跳變點之間的金屬連線；
當橫向電流變化曲線斜率減小，缺陷種類為短路缺陷，其位置范圍是跳變點之間的金屬連線。
6.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述各輸出端電流是取對應金屬直線上某一穩定點的電流，穩定點附近若干點的平均電流，或各點的最大電流。
7.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述電流線性組合為兩輸出端電流的差值。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
