[發明專利]自動目檢方法無效
| 申請號： | 200910198551.2 | 申請日： | 2009-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN102053089A | 公開（公告）日： | 2011-05-11 |
| 發明（設計）人： | 黃臣;趙慶國 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/84 | 分類號： | G01N21/84;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動 方法 | ||
1.一種自動目檢方法，包括：
獲取待檢測晶片的電性測試圖像；
對所述電性測試圖像劃分區域；
對所述電性測試圖像的各區域內電性測試合格的芯片進行選擇性自動目檢。
2.如權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于，所述電性測試圖像中電性測試合格的芯片具有電性測試合格標記。
3.如權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于，所述電性測試圖像中電性測試不合格的芯片具有電性測試不合格標記。
4.如權利要求1所述的自動目檢方法，其特征在于，利用芯片電性測試工具獲取待檢測晶片的電性測試圖像。
5.如權利要求1至4中任意一項所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動分區系統對所述待檢測晶片的電性測試圖像劃分區域。
6.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動分區系統將所述待檢測晶片的電性測試圖像劃分為多個面積相等的區域。
7.如權利要求6所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動分區系統將所述待檢測晶片的電性測試圖像劃分為九個面積相等的區域。
8.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動分區系統將所述待檢測晶片的電性測試圖像劃分為多個面積近似相等的區域。
9.如權利要求8所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動分區系統將所述待檢測晶片的電性測試圖像劃分為九個面積近似相等的區域。
10.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，利用自動目檢工具對所述電性測試圖像的各區域內電性測試合格的芯片進行選擇性自動目檢。
11.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，對所述電性測試圖像的各區域內電性測試合格的芯片進行選擇性自動目檢是指對各區域內全部的電性測試合格的芯片進行自動目檢。
12.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，對所述電性測試圖像的各區域內電性測試合格的芯片進行選擇性自動目檢是指對各區域內部分的電性測試合格的芯片進行自動目檢。
13.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，對所述電性測試圖像劃分區域之后，還包括：對所述各區域內的芯片進行數字編號。
14.如權利要求5所述的自動目檢方法，其特征在于，利用芯片電性測試工具對所述各區域內的芯片進行數字編號。
15.如權利要求14所述的自動目檢方法，其特征在于，按照數字編號從小到大的順序依次對各區域內全部的電性測試合格的芯片進行自動目檢。
16.如權利要求14所述的自動目檢方法，其特征在于，按照數字編號從小到大的順序依次對各區域內部分的電性測試合格的芯片進行自動目檢。
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