[發明專利]晶圓分類方法

有效

• 申請號: 200910197671.0
• 申請日: 2009-10-23
• 公開（公告）號: CN102039277A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 林光啟;劉偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344;B07C5/38
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 牛崢;王麗琴

1.一種晶圓分類方法，

提供一批已知晶圓，所述已知晶圓為已取得晶圓允收測試WAT數據和晶圓針測CP數據的晶圓，將所述已知晶圓分為好壞組；

從該批晶圓的WAT數據中篩選WAT參數；

對所述篩選出的WAT參數進行正交化分析，得到主成分，并選擇得到的主成分；

該方法還包括：

提供一未知晶圓，所述未知晶圓為已取得WAT數據，未取得CP數據的一晶圓，所述未知晶圓利用所述選擇得到的主成分表示；

所述好組和壞組晶圓分別利用所述選擇得到的主成分表示；

將利用所述選擇得到的主成分表示的未知晶圓、好組和壞組晶圓代入判別分析式，計算未知晶圓到好壞組的距離，將所述未知晶圓歸類到距離近的一組。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將已知晶圓分為好壞組的方法為，根據所述已知晶圓的CP數據，將所述已知晶圓分為好壞組。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述CP數據為不合格項目bin值。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述篩選出的WAT參數與所述CP數據相關，且當分為好壞組的晶圓，用WAT參數盒子圖表示時，壞晶圓盒子圖的25％至75％部分與好晶圓盒子圖的25％至75％部分都不重合。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述篩選出的WAT參數與CP數據的相關性系數不小于0.4。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述正交化分析的具體方法為：將所述篩選出的WAT參數投影到反映變量信息的方向上。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述選擇主成分的方法為，選出累積貢獻率在80％～85％的主成分。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述判別分析式為馬式判別分析式，其中，馬式Mahalanobis距離為x為利用選擇得到的主成分表示的未知晶圓，X為利用選擇得到的主成分表示的好組晶圓的總體或者壞組晶圓的總體，等式左邊代表未知晶圓x到總體X的距離，u和∑分別表示總體X的均值和方差；

將分別代表未知晶圓到好、壞晶圓組的Mahalanobis距離：d(x，X1)和d(x，X2)代入判別函數式：

W(x)＝d(x，X1)-d(x，X2)，

當W(x)＜-ε，將未知晶圓分到好晶圓組；

當W(x)＞ε，將未知晶圓分到壞晶圓組，其中，ε為無限趨近于0的數。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述x、X分別為所述主成分的線性表示的矩陣。