[發(fā)明專利]一種擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法及樣品研磨固定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910197373.1
• 申請(qǐng)日: 2009-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN102042798A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李震遠(yuǎn);宋潔;陳彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06;G01R27/02;B24B1/00;B24B41/06
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，包括以下步驟：

將樣品固定于與水平面具有固定角度的樣品臺(tái)的斜面上并將所述樣品臺(tái)固定于樣品研磨固定裝置上；

將所述樣品研磨固定裝置放置于粗磨磨具上，使得所述樣品能夠以特定角度同所述粗磨磨具接觸，對(duì)所述樣品進(jìn)行粗磨；

將所述樣品研磨固定裝置放置于細(xì)磨磨具上，使得所述樣品能夠以特定角度同所述細(xì)磨磨具接觸，對(duì)所述樣品進(jìn)行細(xì)磨拋光。

2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，所述對(duì)對(duì)所述樣品進(jìn)行粗磨的步驟包括：使用磨盤作為所述粗磨磨具對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨。

3.如權(quán)利要求2所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，所述對(duì)對(duì)所述樣品進(jìn)行粗磨的步驟還包括：使用所述磨盤對(duì)樣品進(jìn)行研磨之后還使用細(xì)研磨砂紙作為所述粗磨磨具對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨。

4.如權(quán)利要求2所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，所述使用磨盤對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨的步驟包括：將所述樣品研磨固定裝置固定于所述磨盤上，調(diào)整所述樣品研磨固定裝置的高度和水平，使所述樣品以特定角度與所述磨盤接觸，然后驅(qū)動(dòng)所述磨盤對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨。

5.如權(quán)利要求3所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，所述使用細(xì)研磨砂紙對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨的步驟包括：將所述細(xì)研磨砂紙固定于轉(zhuǎn)盤上，將所述樣品研磨固定裝置固定于所述細(xì)研磨砂紙上，調(diào)整所述樣品研磨固定裝置的高度和水平，使所述樣品以特定角度與所述細(xì)研磨砂紙接觸，然后驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨。

6.如權(quán)利要求5所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，首先使用研磨顆粒直徑較大的細(xì)研磨砂紙進(jìn)行研磨，而后換用研磨顆粒直徑較小的細(xì)研磨砂紙進(jìn)行研磨。

7.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，所述對(duì)所述樣品進(jìn)行細(xì)磨拋光的步驟包括：使用毛玻璃轉(zhuǎn)盤作為所述細(xì)磨磨具，將所述樣品研磨固定裝置固定于所述毛玻璃轉(zhuǎn)盤上，調(diào)整所述樣品研磨固定裝置的高度和水平，使所述樣品以特定角度與所述毛玻璃轉(zhuǎn)盤接觸，然后驅(qū)動(dòng)所述毛玻璃轉(zhuǎn)盤對(duì)所述樣品進(jìn)行研磨。

8.如權(quán)利要求7所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法，其特征在于，研磨時(shí)所述毛玻璃轉(zhuǎn)盤的表面涂抹有鉆石膏和油混合制成的磨料。

9.一種為實(shí)施如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)展電阻測(cè)試樣品制備方法而設(shè)計(jì)的樣品研磨固定裝置，包括樣品支架，所述樣品支架的頂面上安裝有千分尺旋鈕，用以調(diào)節(jié)所述樣品支架的高度和水平；所述樣品支架的底端具有耐磨支腳；所述樣品支架的中心設(shè)置有螺栓固定通孔，所述螺栓固定通孔內(nèi)固定有螺栓，所述螺栓的頂端固定于所述樣品支架的頂面上，所述螺栓的底端突出于所述樣品支架的底面，所述螺栓的底端具有螺紋，用于固定樣品。

10.如權(quán)利要求9所述的樣品研磨固定裝置，其特征在于，所述樣品支架頂面的螺栓通孔上還設(shè)置有墊片。

11.如權(quán)利要求9所述的樣品研磨固定裝置，其特征在于，所述千分尺旋鈕為一個(gè)或多個(gè)。