[發(fā)明專利]平面光學(xué)元件的面形偏差測量方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910196710.5
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN101672631A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江曉軍;劉正國
• 申請（專利權(quán)）人: 上海第二工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G06N3/02;G06N3/08
• 代理公司: 上海東創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙）
• 代理人: 寧芝華

1.一種平面光學(xué)元件的面形偏差測量方法，其特征在于按照如下方法進行：

A)攝像頭將標準樣板標準光圈的干涉條紋圖像數(shù)據(jù)進行采集，通過USB接口將采集到的標準樣本圖像數(shù)據(jù)傳送給DSP進行數(shù)字信號處理：

a)建立接收到的干涉條紋圖像與顯示裝置上顯示圖形的映射關(guān)系；

b)按建立的映射關(guān)系將干涉條紋圖像送到顯示裝置進行顯示；

c)將干涉條紋圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖像；

d)對灰度圖像進行濾波及二值化處理；

e)在處理后的干涉條紋圖像中，選取與此圖像同心的圓形區(qū)域作為測試區(qū)域，再求取該測試區(qū)域中干涉條紋的數(shù)據(jù)：干涉條紋的彎曲量、干涉條紋間距及干涉條紋彎曲量與干涉條紋間距的比值；

f)判斷是否已確定BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，如果是，則轉(zhuǎn)步驟D)，否則繼續(xù)步驟g)；

g)將測試區(qū)域按比例擴大，對新測試區(qū)域，再求取干涉條紋的數(shù)據(jù)；

h)判斷是否得到指定組樣本數(shù)據(jù)，如果是，則轉(zhuǎn)步驟B)否則進入步驟g)；

B)用步驟e)和步驟g)中干涉條紋的數(shù)據(jù)對BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行訓(xùn)練：首先建立三層BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，將各測試區(qū)域中干涉條紋彎曲量、干涉條紋間距和測試區(qū)域直徑作為輸入樣本，將各測試區(qū)域中干涉條紋彎曲量與干涉條紋間距的比值作為輸出樣本，對BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行訓(xùn)練；訓(xùn)練先從輸入層開始正向計算各層神經(jīng)元的輸入和輸出，逐層修改BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的連接權(quán)值，直至輸出節(jié)點的實際輸出與輸出節(jié)點的期望輸出的誤差平方和不大于給定的誤差平方和時，結(jié)束對BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的訓(xùn)練；

C)確定要采用的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)；

D)攝像頭將被測平面光學(xué)元件的干涉條紋圖像數(shù)據(jù)進行采集，通過USB接口將采集到的圖像數(shù)據(jù)傳送給DSP，DSP按步驟a)～步驟e)進行數(shù)字信號處理，得到的測量數(shù)據(jù)送入由步驟C)所確定的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行計算；

E)BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輸出面形偏差值，并送入DSP的緩存區(qū)；

F)DSP將步驟E)中面形偏差值送入顯示裝置進行顯示。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平面光學(xué)元件的面形偏差測量方法，其特征在于：A)e)中所述的測試區(qū)域，該區(qū)域進行第一次選擇時占整個圖像區(qū)域面積的比例范圍是50％～95％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平面光學(xué)元件的面形偏差測量方法，其特征在于：A)g)中所述的將測試區(qū)域按比例擴大，該區(qū)域進行擴大的比例范圍是0.2％～5％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平面光學(xué)元件的面形偏差測量方法，其特征在于：A)h)中所述的指定組樣本數(shù)據(jù)不小于40組樣本數(shù)據(jù)。