[發明專利]電鍍工藝穩定性的在線監控方法有效
| 申請號： | 200910196468.1 | 申請日： | 2009-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN102031554A | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 劉盛;聶佳相 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C25D21/12 | 分類號： | C25D21/12;C25D7/12;H01L21/288 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電鍍 工藝 穩定性 在線 監控 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種電鍍工藝穩定性的在線監控方法，其特征在于，包括：
提供具有溝槽的晶圓，采用電鍍工藝在所述溝槽內沉積金屬，所述電鍍工藝的電鍍溶液中包含反應加速劑，使溝槽位置金屬的沉積速度大于其它位置；
測量溝槽位置與其它位置沉積的金屬層的厚度差；
如果所述的厚度差數值不在設定的標準數值之間，根據金屬層厚度差的變化情況，對電鍍溶液進行調整。
2.根據權利要求1所述的電鍍工藝穩定性的在線監控方法，其特征在于，所述的金屬為銅。
3.根據權利要求1所述的電鍍工藝穩定性的在線監控方法，其特征在于，所述的溝槽內填充的金屬層用于形成金屬銅互連結構。
4.根據權利要求1所述的電鍍工藝穩定性的在線監控方法，其特征在于，所述的對電鍍溶液進行調整指調整電鍍溶液中反應加速劑的質量百分比含量或者摩爾百分比含量。
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