[發明專利]負偏壓溫度不穩定性的測試方法

有效

• 申請號: 200910194851.3
• 申請日: 2009-08-31
• 公開（公告）號: CN102004216A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 呼倫
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;H01L21/66
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 謝安昆;宋志強

1.一種負偏壓溫度不穩定性的測試方法，在測試過程中，測試溫度保持在85～150攝氏度；該方法包括：

A、確定至少兩個不同測試負偏壓下器件的壽命；其中，針對每個測試負偏壓，分別執行以下操作：

A1、向器件的柵極施加預定時長的測試負偏壓；預定時長結束，將測試負偏壓直接降為器件正常工作時的工作負偏壓；

A2、在所述工作負偏壓下測量器件的參數的取值，并將測量到的取值與參數的標準取值進行比較，計算偏移率；

A3、判斷測量次數是否達到預定要求，如果是，則執行步驟A4；否則，返回執行步驟A1；

A4、基于每次測量后計算得到的偏移率以及每次測量之前施加的測試負偏壓的總時長，通過擬合方式確定出偏移率與總時長之間的函數關系式；

A5、基于所述函數關系式，計算預先確定的最大允許偏移率對應的總時長，將計算出的總時長作為器件壽命；

B、基于確定出的每個測試負偏壓對應的器件壽命，通過擬合方式確定測試負偏壓與器件壽命之間的函數關系式；

C、根據步驟B中確定出的函數關系式，計算工作負偏壓下的器件壽命；

D、將步驟C中計算出的器件壽命與預先設定的閾值進行比較，如果大于所述閾值，則確定器件的負偏壓溫度不穩定性符合要求。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述參數為：飽和電流。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述計算偏移率包括：

計算標準取值與測量到的取值的差值；

用所述差值除以所述標準取值，得到的商即為偏移率。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述測試負偏壓大于所述工作負偏壓且小于器件的擊穿電壓。