[發明專利]一種測試裝置及其測試方法

有效

• 申請號: 200910194612.8
• 申請日: 2009-08-26
• 公開（公告）號: CN101995525A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 嚴大生;陳開貴;劉鐵;賈珂;童建橋;何佳孟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;成都成芯半導體制造有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種測試裝置，包括基座，電測試部件，顯微鏡固定器以及顯微鏡，所述電測試部件設置于所述基座之上，所述顯微鏡固定器固定于所述基座上，所述顯微鏡通過所述顯微鏡固定器固定于所述電測試部件的上方，其特征在于，所述電測試部件包括載物臺和探針，所述載物臺用于固定被測器件，所述探針固定于所述載物臺內，對所述被測器件的電氣特性進行測試。

2.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述探針包括套筒和針頭，所述針頭的一端突出于所述套筒，所述針頭的另一端連接彈簧，所述彈簧固定于所述套筒內。

3.如權利要求1或2所述的測試裝置，其特征在于，所述載物臺包括承載層、探針固定層及信號傳輸層，所述各層之間通過螺母固定，所述承載層的表面具有卡槽，用以放置被測器件，所述卡槽的底部具有貫通的第一真空溝道以及第一探針孔，所述探針固定層內具有垂直貫通的第二探針孔，所述第二探針孔與所述承載層的第一探針孔對齊貫通，所述探針插入至所述第二探針孔及第一探針孔中，所述探針的針頭向上突出于所述卡槽的底面，所述信號傳輸層內具有信號線接口，所述信號線接口的一端連接所述探針，所述信號線接口的另一端連接測試儀。

4.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述信號線接口為多個，包括正極信號線接口和負極信號線接口。

5.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述卡槽的底部還有具有貫通的第一真空溝道，所述探針固定層內具有真空接口及第二真空溝道，所述第二真空溝道的一端連接所述真空接口，所述真空接口連接抽真空裝置，所述第二真空溝道的另一端與所述承載層的第一真空溝道對齊貫通。

6.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述第二探針孔及與其對齊貫通的第一探針孔為多個，其數量和位置根據所述被測器件的測試壓焊點的數量和位置進行設置。

7.如權利要求5所述的測試裝置，其特征在于，所述第一真空溝道及與其對齊貫通的第二真空溝道的個數為多個，其數量和位置可根據所述被測器件的尺寸和形狀進行設置。

8.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述承載層、探針固定層及信號傳輸層采用金屬材質。

9.如權利要求8所述的測試裝置，其特征在于，所述承載層、探針固定層及信號傳輸層采用的材質為鋁。

10.如權利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述針頭為鍍金材質。

11.如權利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述針頭為圓頭材質。

12.如權利要求8所述的測試裝置，其特征在于，將所述探針插入所述第二探針孔及第一探針孔時在所述探針外增加一絕緣管套，所述絕緣管套使所述探針置于所述載物臺中的部分與所述載物臺間完全絕緣。

13.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述承載層、探針固定層及信號傳輸層的表面具有散熱溝道。

14.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述顯微鏡為紅外顯微鏡或電荷耦合器顯微鏡。

15.一種使用權利要求1-15中任一測試裝置的微機電系統產品測試方法，包括以下步驟：

將被測器件固定于載物臺上；

使用探針對所述被測器件進行電測試；

通過所述探針為所述微機電產品提供電源，使用顯微鏡觀測所述微機電產品內部的機械部件運作情況，實行功能測試。