[發(fā)明專利]一種高精度自動化光電晶體提拉爐

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910192126.2
• 申請日: 2009-09-08
• 公開（公告）號: CN101660198A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設計）人: 王彪;周子凡;林少鵬;沈文彬;李一倫
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/20
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司
• 代理人: 禹小明

1、一種高精度自動化光電晶體提拉爐，包括爐體、設于爐體內且裝有熔融晶體的坩堝及用于提拉晶體的提拉桿，其特征在于：還包括對坩堝進行加熱的加熱模塊、實時測量坩堝溫度的測溫模塊、根據(jù)坩堝測量的溫度控制加熱模塊的溫控模塊、調節(jié)提拉桿提拉速度的提拉模塊、調節(jié)提拉桿旋轉速度的旋轉模塊、對坩堝內剩余晶體重量作監(jiān)控的監(jiān)控模塊及通過總線和通信協(xié)議與各個模塊相連接的控制系統(tǒng)。

2、根據(jù)權利要求1所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：各個模塊均設有一用于控制與維護本模塊的控制子模塊，且控制子模塊與控制系統(tǒng)通過總線交互數(shù)據(jù)。

3、根據(jù)權利要求2所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該旋轉模塊還包括旋轉電機及其驅動電路，旋轉電機將其實際轉速形成反饋電壓反饋至控制子模塊，當控制子模塊檢測到實際轉速與預設值不同時，則將旋轉電機轉速調整至預設值內。

4、根據(jù)權利要求2所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該提拉模塊還包括提拉電機及其驅動電路，提拉模塊的控制子模塊中設有用于監(jiān)控提拉電機位移的光柵尺，當控制子模塊檢測到實際提拉速度與預設值不同時，則將提拉電機速度調整至預設值內。

5、根據(jù)權利要求1所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該溫控模塊為精確度小于或等于0.1攝氏度的溫控儀器。

6、根據(jù)權利要求5所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該測溫模塊為熱電偶。

7、根據(jù)權利要求1所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該加熱模塊包括對坩堝進行非接觸式加熱的中頻線圈及連接至中頻線圈的中頻電源。

8、根據(jù)權利要求1所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該監(jiān)控模塊包括設于坩堝下方用于稱量爐體內晶體重量的電子秤及與電子秤連接的單片機驅動電路，該坩堝設于抵壓在設于電子秤上的絕熱支架上。

9、根據(jù)權利要求8所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該監(jiān)控模塊包括將中頻線圈加熱功率波動產生的電子秤讀數(shù)誤差進行過濾的濾波單元。

10、根據(jù)權利要求1至9任一項所述的高精度自動化光電晶體提拉爐，其特征在于：該控制系統(tǒng)包括與各個模塊相互傳輸參數(shù)的輸入輸出單元、對制備參數(shù)進行記錄的數(shù)據(jù)記錄單元、將各參數(shù)進行顯示的顯示單元、用于判斷晶體生長過程的實際參數(shù)是否超過預設保護參數(shù)范圍的參數(shù)判斷單元及對各參數(shù)進行處理的處理單元。