[發(fā)明專利]使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910190980.5 | 申請(qǐng)日： | 2009-09-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101666681A | 公開（公告）日： | 2010-03-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張智海;莫祥霞;王偉;郭媛君 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 重慶大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01J3/28 | 分類號(hào)： | G01J3/28;G01J3/18 |
| 代理公司： | 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙榮之 |
| 地址： | 400044重*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 使用 moems 閃耀 光柵 陣列 光譜儀 | ||
1.使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀，其特征在于：包括光源；
準(zhǔn)直裝置，使來自光源的光束平行；
光柵或棱鏡，接收光束并使光束色散；
成像裝置，將色散光束成像到MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列上，并將MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列反射的光束成像到探測(cè)器；
MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列及其驅(qū)動(dòng)電路，用于衍射色散光束；所述MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列，包括多個(gè)并列的MOEMS可動(dòng)閃耀光柵，所述多個(gè)MOEMS可動(dòng)閃耀光柵在驅(qū)動(dòng)電路的控制下分組進(jìn)行偏轉(zhuǎn)動(dòng)作，以選通不同譜帶光束；以及
探測(cè)器，用于接收由可動(dòng)閃耀光柵陣列的反射，并經(jīng)成像裝置成像的光束。
2.如權(quán)利要求1所述的使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀，其特征在于：所述光柵為平面反射光柵、凹面光柵或閃耀光柵。
3.如權(quán)利要求1所述的使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀，其特征在于：所述探測(cè)器為單點(diǎn)探測(cè)器。
4.如權(quán)利要求1所述的使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀，其特征在于：所述準(zhǔn)直裝置為準(zhǔn)直透鏡。
5.如權(quán)利要求1所述的使用MOEMS可動(dòng)閃耀光柵陣列的光譜儀，其特征在于：所述成像裝置為成像透鏡。
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