[發明專利]平動式光柵光調制器、其制造方法及其陣列無效
| 申請號： | 200910190977.3 | 申請日： | 2009-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN101666910A | 公開（公告）日： | 2010-03-10 |
| 發明（設計）人： | 張智海;王偉;莫祥霞;郭媛君;黃慶探 | 申請（專利權）人： | 重慶大學 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京同恒源知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙榮之 |
| 地址： | 400044重*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 平動 光柵 調制器 制造 方法 及其 陣列 | ||
【權利要求書】：
1.平動式光柵光調制器，其特征在于：包括硅襯底以及設置于硅襯底上的絕緣層，光柵通過彈性懸臂梁懸空支撐于絕緣層上方，所述彈性懸臂梁由梁體和錨桿組成，梁體的一端通過錨桿固定設置于絕緣層上，梁體的另一端與光柵固定連接，在光柵下方的絕緣層上設置有下電極，所述彈性懸臂梁的梁體具有折疊結構，彈性懸臂梁梁體的厚度小于光柵的厚度的1/3。
2.如權利要求1所述的平動式光柵光調制器，其特征在于：所述彈性懸臂梁的梁體的折疊結構呈方波狀折疊。
3.如權利要求1所述的平動式光柵光調制器，其特征在于：所述彈性懸臂梁為4根，分別與光柵的四角固定連接。
4.如權利要求1至3中任一項所述的平動式光柵光調制器，其特征在于：所述彈性懸臂梁與光柵為一體，由多晶硅刻蝕而成。
5.如權利要求1至3中任一項所述的平動式光柵光調制器，其特征在于：所述下電極為2個，分別設置于光柵長度方向上的兩端下方。
6.如權利要求5所述的平動式光柵光調制器，其特征在于：所述下電極由磷摻雜多晶硅刻蝕而成。
7.如權利要求1至6中任一項所述的平動式光柵光調制器組成的光柵光調制器陣列，其特征在于：所述平動式光柵光調制器組成的光柵光調制器陣列由至少2個平動式光柵光調制器并列而成，其中每一個平動式光柵光調制器均可在驅動電路控制下獨立動作。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于重慶大學，未經重慶大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200910190977.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
