[發(fā)明專利]一種冷陰極的表面處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910190152.1
• 申請(qǐng)日: 2009-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN102013371A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡琪;高同風(fēng);張興;劉亮;范守善
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
• 主分類號(hào): H01J9/02
• 分類號(hào): H01J9/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種表面處理方法，尤其涉及一種冷陰極的表面處理方法。

背景技術(shù)

絲網(wǎng)印刷厚膜技術(shù)制備的冷陰極電子源具有低成本和可大面積制備的優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器等真空微電子器件。目前的可印制的冷陰極其成分基本上都是碳納米管與普通導(dǎo)電漿料的混合，或者是將碳納米管與導(dǎo)電銀粉、多種固體粘結(jié)劑材料及有機(jī)溶劑等進(jìn)行混合(N.S.Lee，etal.，Diamond?Relat.Master.，2001，10：265-270)。采用碳納米管-導(dǎo)電銀漿類漿料制備的場(chǎng)發(fā)射冷陰極，經(jīng)過高溫加熱處理去除其中的有機(jī)溶劑后，主要由碳納米管、導(dǎo)電相金屬顆粒和玻璃態(tài)固體粘結(jié)材料組成，表面的碳納米管作為主要的場(chǎng)致電子發(fā)射源。

冷陰極漿料經(jīng)過高溫加熱處理后得到冷陰極，冷陰極表面由于被玻璃態(tài)固體粘結(jié)物質(zhì)和其他一些雜質(zhì)覆蓋，暴露在冷陰極表面的碳納米管場(chǎng)發(fā)射體數(shù)量很少，發(fā)射電子流小。因此需要引入一些表面處理技術(shù)以改善冷陰極的場(chǎng)發(fā)射特性。

現(xiàn)有技術(shù)中揭露了一種采用膠帶處理以碳納米管為場(chǎng)發(fā)射體的冷陰極的方法，其包括以下步驟：將特定膠帶粘于冷陰極的表面；在特定溫度下加熱所述膠帶；在所述特定溫度下揭去膠帶以使冷陰極表面的碳納米管豎立。

然而，上述冷陰極的表面處理方法具有以下缺點(diǎn)：其一，須在特定的溫度下加熱膠帶然后揭去膠帶，從而達(dá)到豎立冷陰極表面碳納米管的目的。然而，所述方法中加熱溫度的控制對(duì)表面處理效果影響很大：過低的加熱溫度會(huì)使碳納米管從冷陰極上完全剝離達(dá)不到表面處理的目的；過高的加熱溫度會(huì)導(dǎo)致膠帶的膠殘留在冷陰極表面而影響其發(fā)射性能和壽命。其二，將膠帶粘于冷陰極表面時(shí)，膠帶難以均勻地緊密接觸冷陰極，從而造成膠帶與冷陰極間殘留空氣，其表現(xiàn)為膠帶上的氣泡。氣泡處的碳納米管與膠帶不接觸，因此將膠帶揭去時(shí)會(huì)導(dǎo)致氣泡處的碳納米管仍處于隨機(jī)分布狀態(tài)而不能豎立，這樣便會(huì)降低碳納米管的場(chǎng)發(fā)射均勻性。

發(fā)明內(nèi)容

因此，確有必要提供一種簡(jiǎn)單、穩(wěn)定的冷陰極表面處理方法，以解決上述技術(shù)問題。

一種冷陰極的表面處理方法，其包括以下步驟：提供一冷陰極，所述冷陰極包括多個(gè)一維場(chǎng)發(fā)射體；設(shè)置一液體膠于所述冷陰極表面；固化所述液體膠；去除冷陰極表面的固化后的液體膠，以使冷陰極表面的一維場(chǎng)發(fā)射體豎立。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的冷陰極的表面處理方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：其一，本發(fā)明提供的冷陰極的表面處理方法無(wú)須精確控制溫度，因此，方法簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、重復(fù)性和操作性強(qiáng)；其二，由于液體膠具有流動(dòng)性，液體膠可以和冷陰極的表面均勻地緊密接觸，不殘留氣泡，因此豎立冷陰極表面的一維場(chǎng)發(fā)射體的效率較高；其三，由于液體膠具有流動(dòng)性，因此，可以處理各種冷陰極的表面，特別是膠帶不易處理或無(wú)法處理的凹槽和/或側(cè)面。

附圖說明

圖1是本發(fā)明具體實(shí)施例提供的冷陰極表面處理方法的流程圖。

圖2是本發(fā)明具體實(shí)施例提供的冷陰極表面處理方法所采用的冷陰極制備方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例提供的冷陰極的表面處理方法。

請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明具體實(shí)施例提供的冷陰極的表面處理的方法包括以下步驟：

步驟S101，提供一冷陰極；

步驟S102，設(shè)置一液體膠于所述冷陰極表面；

步驟S103，固化所述液體膠；

步驟S104，去除冷陰極表面的固化后的液體膠，以使冷陰極表面的一維場(chǎng)發(fā)射體豎立。

在步驟S101中，所述冷陰極包括多個(gè)一維場(chǎng)發(fā)射體。由于一維場(chǎng)發(fā)射體具有較高的長(zhǎng)徑比，因此在較低的電場(chǎng)下即可發(fā)射出電子。

可選擇地，所述冷陰極還可包括導(dǎo)電相、粘結(jié)劑以及吸氣劑微粒等。本實(shí)施例中，所述冷陰極包括多個(gè)一維場(chǎng)發(fā)射體、導(dǎo)電相和粘結(jié)劑。