[發明專利]一種CF檢測板和CF欠陷的檢測方法

有效

• 申請號: 200910189714.0
• 申請日: 2009-08-22
• 公開（公告）號: CN101995682A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 許科偉
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本發明涉及液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display，簡稱LCD)制造領域的檢測技術，尤其涉及一種彩色濾光片(Color?Filter，簡稱CF)的檢測技術。

【背景技術】

液晶顯示器之所以能夠實現色彩的變化，主要是通過彩色濾光片的紅(R)、綠(G)、藍(B)三種彩色光阻圖案來提供色相，依據混色原理而形成彩色顯示畫面。

請參考圖1：現有彩色濾光片包括玻璃基板10、間隔形成于玻璃基板上的黑色矩陣(Black?Matrix，簡稱BM)11、在所述黑色矩陣的間隔區域形成的紅色濾光層12、綠色濾光層13、藍色濾光層14、形成于濾光層和黑色矩陣上的保護層(OC)15及透明導電層(ITO)16。其中，濾光層(RGB)的形成方法目前以顏料分散法為主，其制造方法是以著色材料分散在感光性樹脂中，此感光樹脂為負型，在紫外線照射下經過光反應(即交鏈反應)而硬化，做往復的涂布、曝光、顯影、烘烤，可分別形成R、G、B三濾光層，然后在其濾光層和黑色矩陣上形成保護層，最后再真空濺鍍ITO導電層，以形成彩色濾光片。

請參考圖2：在CF半成品制作過程中，曝光工序是用紫外線26(UV)通過預先制作的電極圖形掩膜板(鉻板或MASK)照射涂好感光性樹脂25的玻璃基板20的表面，通過紫外光線進行選擇性的照射，使受光部位的感光性樹脂發生化學反應，改變了這部分的膠膜在顯影中的溶液度(即減小負性膠溶解度)，使未曝光的部分被顯影，從而得到所需的圖形即紅色濾光層22、綠色濾光層23和藍色濾光層24。

在使用MASK的時候，要檢查MASK是否干凈，如果MASK上線前或生產中被污染，在曝光工序進行光照射時，應該被照射的地方因異物擋住未被照射，而在顯影機中被顯影，從而表現為每一CF產品中相同模號相同位置的部分顏色或整個色素消失，形成欠陷不良。

目前，在CF半成品的制作過程中，針對CF欠陷不良的檢出，經常采用的方法是目視在綠光燈下檢出。具體地，在R、G、B單色制作工程中，每100片對產品進行外觀檢驗(突起異物及欠陷在綠燈下均表現為一小亮點)，其中主要一項為欠陷檢查，從顯影后抽取一片CF產品拿到暗室綠燈下進行檢查：手持基板分別使玻璃成為縱長、橫長，用氣槍吹基板的背面、膜面，吹走浮灰，目視走線沿S方向(參考圖3)檢查缺陷，缺陷被發現時用氣槍吹該處，若不能吹掉，則用油性筆在基板的背面作標記，拿到色度計或測長儀顯微鏡下，微調對準標記區域后觀察、判定是異物還是R欠陷、G欠陷、B欠陷，以確定是哪個制程產生的欠陷不良。

在CF產品大批量生產過程中，發現在B制程表面檢驗時有高比例的R欠陷、G欠陷(每片CF產品有1～3個)，而R、G本身制程中卻檢驗不出，這樣造成CF產品的浪費，使CF產品制作成本提高。因此，現有方法無法達到理想的效果。

【發明內容】

本發明的目的在于提供一種CF檢測板和CF欠陷的檢測方法，解決現有檢查方法不能有效檢驗出CF欠陷不良，無法達到理想效果的技術問題。

本發明是通過以下技術方案實現的：

一種CF檢測板，包括透光基板、遮光層、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色或綠色中的一種濾光層，第二彩色濾光層為空白濾光層，所述空白濾光層用于檢測時設置成紅色或綠色中的另一種，第三彩色濾光層為藍色濾光層，其中，所述彩色濾光層形成于透光基板上，彩色濾光層中濾光層的排列順序為紅色、綠色和藍色，所述遮光層設置于透光基板上且圍設第一、第二和第三彩色濾光層。

本發明還提供一種CF欠陷的檢測方法，其特征在于：當在CF產品紅色制作首檢時，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將制作完紅色濾光層的CF檢測板進行檢查；當在CF產品綠色制作首檢時，在第一彩色濾光層為紅色濾光層的CF檢測板的空白濾光層上制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的CF檢測板進行檢查。