[發明專利]一種金屬化學蝕刻液及蝕刻方法

有效

• 申請號: 200910189445.8
• 申請日: 2009-12-25
• 公開（公告）號: CN102108512A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 方鋒;丁維清
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: C23F1/16
• 分類號: C23F1/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金屬化學蝕刻液，其特征在于：包括氯化鐵、鹽酸、磷酸、硝酸、緩蝕劑和表面活性劑，所述緩蝕劑為六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一種，所述表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉和十二烷基醇酰胺中的一種或兩種。

2.如權利要求1所述的金屬化學蝕刻液，其特征在于：所述氯化鐵的含量為325-912g/L，所述鹽酸的含量為80-180mL/L，所述磷酸的含量為80-220mL/L，所述硝酸的含量為75-150mL/L，所述緩蝕劑的含量為50-800mg/L，所述表面活性劑的含量為1-200mg/L。

3.如權利要求1或2所述的金屬化學蝕刻液，其特征在于：所述氯化鐵的含量為543-760g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100-140mL/L，所述硝酸的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為50-400mg/L，所述表面活性劑的含量為80-200mg/L。

4.如權利要求1或2所述的金屬化學蝕刻液，其特征在于：所述氯化鐵的含量為651-912g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為80-140mL/L，所述硝酸的含量為90-150mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為200-500mg/L，所述表面活性劑的含量為50-100mg/L。

5.如權利要求1或2所述的金屬化學蝕刻液，其特征在于：所述氯化鐵的含量為326-543g/L，所述鹽酸的含量為100-180mL/L，所述磷酸的含量為100-220mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為300-800mg/L，所述表面活性劑的含量為1-100mg/L。

6.一種金屬化學蝕刻方法，其特征在于：將金屬基材進行噴淋蝕刻，所述蝕刻液為權利要求1所述的蝕刻液。

7.如權利要求6所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于：所述金屬基材為銅、不銹鋼和鋁合金中的一種。

8.如權利要求6所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于：所述金屬基材為銅，所述氯化鐵的含量為543-760g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為100-140mL/L，所述硝酸的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為50-400mg/L，所述表面活性劑的含量為80-200mg/L。

9.如權利要求6所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于：所述金屬基材為不銹鋼，所述氯化鐵的含量為651-912g/L，所述鹽酸的含量為80-160mL/L，所述磷酸的含量為80-140mL/L，所述硝酸的含量為90-150mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為200-500mg/L，所述表面活性劑的含量為50-100mg/L。

10.如權利要求6所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于：所述金屬基材為鋁合金，所述氯化鐵的含量為326-543g/L，所述鹽酸的含量為100-180mL/L，所述磷酸的含量為100-220mL/L，所述硝酸的含量為75-130mL/L，所述緩蝕添加劑的含量為300-800mg/L，所述表面活性劑的含量為1-100mg/L。

11.根據權利要求6-10任意一項所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于：所述蝕刻液的溫度為35-45℃。

12.根據權利要求11所述的金屬化學蝕刻方法，其特征在于，所述噴淋壓力為25-35kg/cm²。