[發明專利]激光三維掃描裝置和激光三維掃描方法

有效

• 申請號: 200910188701.1
• 申請日: 2009-12-03
• 公開（公告）號: CN101738815A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 李德榮;張春陽
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: G02F1/33
• 分類號: G02F1/33
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種激光三維掃描裝置，其特征在于：包括沿光路方向順序放置的第一 透射光柵、第二透射光柵、第三透射光柵、第一聲光偏轉器、第二聲光偏轉器、 第一透鏡、第一半波片、第二透鏡、第三聲光偏轉器、第三透鏡、第二半波片、 第四透鏡、第四聲光偏轉器、顯微物鏡；

所述第二聲光偏轉器、第一透鏡、第一半波片、第二透鏡、第三聲光偏轉 器、第三透鏡、第二半波片、第四透鏡、第四聲光偏轉器均為等間距放置，所 述間距等于第一透鏡的焦距；

所述第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡的焦距均相等；

所述第一聲光偏轉器、第二聲光偏轉器、第三聲光偏轉器、第四聲光偏轉 器是完全相同的，所述第一聲光偏轉器和第二聲光偏轉器為正交放置，所述第 三聲光偏轉器和第四聲光偏轉器為平行放置，所述第四聲光偏轉器放置在顯微 物鏡的后焦面上；

所述第一透射光柵和第二透射光柵是完全相同的，所述第一透射光柵和第 二透射光柵的間距為L，所述L需要滿足如下公式：

λ3L2πc2d12cos2θd1=4GDDm]]>

其中λ為真空中激光波長，c為真空中光速，d₁為第一透射光柵的光柵常數， θ_d1為第一透射光柵的衍射角，GDD_m為單個聲光偏轉器的群延時色散量；

所述第三透射光柵的光柵常數d₃需要滿足如下公式：

1d3cosθd3=2fcv]]>

其中θ_d3為第三透射光柵的衍射角，f_c為聲光偏轉器的中心頻率，ν為聲波 在聲光晶體中的傳輸速度；

所述第三透射光柵的光柵線與X方向的夾角為45度。

2.根據權利要求1所述的激光三維掃描裝置，其特征在于：所述激光為飛 秒激光。

3.根據權利要求1所述的激光三維掃描裝置，其特征在于：所述顯微物鏡 的放大倍數為10倍，焦距為18mm，第一聲光偏轉器中的聲光晶體為TeO₂，聲 波在聲光晶體中的傳輸速度為650m/s，中心頻率為96MHz，帶寬為36MHz，單 個聲光偏轉器的群延時色散量為7000fs²，第一透射光柵(27)和第二透射光柵 (28)的光柵常數為480線/mm，間距L為10cm，第三透射光柵的光柵常數為 180線/mm。

4.根據權利要求1所述的激光三維掃描裝置，其特征在于：所述激光為連 續激光。