[發(fā)明專利]壓電元件及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910188417.4
• 申請日: 2009-11-24
• 公開（公告）號: CN102074648A
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何向明;蒲薇華;王莉;李建軍;高劍;任建國
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/193;H01L41/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種壓電元件，其包括：

一聚合物層，該聚合物層的材料包括熱解聚丙烯腈；

一第一金屬層設(shè)置于該聚合物層一表面；以及

一第二金屬層設(shè)置于該聚合物層另一表面，該第一金屬層與第二金屬層具有不同的功函數(shù)。

2.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該熱解聚丙烯腈為將聚丙烯腈在220℃至350℃下加熱1小時至10小時獲得。

3.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該熱解聚丙烯腈為將聚丙烯腈在300℃下加熱5小時獲得。

4.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該第一金屬層與第二金屬層的功函數(shù)相差0.5eV以上。

5.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該第一金屬層為鋁，該第二金屬層為金、鎳或銅。

6.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該聚合物層的厚度為1微米至500微米。

7.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該聚合物層進(jìn)一步包括一粘結(jié)劑，該熱解聚丙烯腈占該聚合物層總質(zhì)量的90％以上。

8.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于，該第一金屬層及第二金屬層為金屬箔片或金屬薄膜。

9.一種壓電元件的制備方法，其包括：

提供一聚丙烯腈原料，將該聚丙烯腈原料在220℃至350℃條件下加熱，使該聚丙烯腈原料受熱分解為熱解聚丙烯腈；

將該熱解聚丙烯腈與一粘結(jié)劑及一揮發(fā)性溶劑混合形成一漿料；

將該漿料涂覆于一第一金屬層表面，形成一聚合物層；

干燥該聚合物層；以及

將一第二金屬層覆蓋于該聚合物層表面并相互壓合。

10.如權(quán)利要求9所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該聚丙烯腈原料在220℃至350℃條件下加熱1小時至10小時。

11.如權(quán)利要求9所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該聚丙烯腈原料在300℃下加熱5小時。

12.如權(quán)利要求9所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該揮發(fā)性溶劑為二甲基甲酰胺。

13.如權(quán)利要求9所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該熱解聚丙烯腈與該粘結(jié)劑的質(zhì)量比為99∶10至99∶1。

14.如權(quán)利要求9所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，所述干燥該聚合物層的步驟為將形成該聚合物層后的該第一金屬層放置于一烘箱中加熱，該烘箱的溫度為40℃至100℃，干燥時間為2小時至10小時。

15.一種壓電元件的制備方法，其包括：

提供一聚丙烯腈原料，將該聚丙烯腈原料在220℃至350℃條件下加熱，使該聚丙烯腈原料受熱分解為熱解聚丙烯腈；

將該熱解聚丙烯腈與一粘結(jié)劑及一揮發(fā)性溶劑混合形成一漿料；

提供一絕緣基板，在該絕緣基板表面形成一第一金屬；

將所述漿料涂附于該第一金屬層表面，形成一聚合物層；以及

在該聚合物層表面形成一第二金屬層。

16.如權(quán)利要求15所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該第一金屬層通過電鍍、沉積、蒸鍍或濺射方式形成在該絕緣基板表面。

17.如權(quán)利要求15所述的壓電元件的制備方法，其特征在于，該第二金屬層通過電鍍、沉積、蒸鍍或濺射方式形成在該聚合物層表面。