[發明專利]1800度高溫保護氣氛真空燒結爐

有效

• 申請號: 200910187433.1
• 申請日: 2009-09-18
• 公開（公告）號: CN101655310A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 楊建川;趙建業;曲紹芬;石巖;張曉東;高光偉;黨艷敏
• 申請（專利權）人: 沈陽恒進真空科技有限公司
• 主分類號: F27B5/04
• 分類號: F27B5/04;F27B5/06;F27B5/14;F27B5/16;F27B5/18;F27D11/10;C04B35/565;C04B35/64
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司
• 代理人: 崔紅梅

1.一種1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，控制系統與設置在真空燒結爐中的電 控執行部件相連、真空燒結爐與真空系統和進、排氣管道相連，其特征在于一爐適用兩種 工藝：氣氛燒結和真空燒結，并由控制程序實施功能轉換措施；爐殼體兩端開門、一端門 上安裝循環風機，爐殼體上安裝熱電偶、銅電極，并有管道與真空系統相連，爐殼體內裝 方體加熱室、固定在加熱室四個內壁上的加熱器、加熱器內部再安裝密封箱和支撐料架； 聯通密封箱的進、排氣管道通過石墨管分別穿過加熱室和密封箱的上、下壁與密封箱內相 通，測量溫度的熱電偶固定在爐殼體上，熱電偶測溫端進入到密封箱內，銅電極通過石墨 電極與加熱器相連接。

2.根據權利要求1所述的1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，其特征在于進氣管道 (10)與排氣管道(12)均通過石墨管(16)與密封箱(6)連接，石墨管(16)穿過加熱室(2)隔熱層 壁與石墨的密封箱(6)相連通，為提高接口處的密閉性，在石墨管(16)與密封箱內壁之間 加一石墨密封環(15)，該環下面緊貼密封箱內壁板，將密封箱與石墨管(16)之間較大的環 形間隙擋嚴，增加密封箱(6)的密封性。

3.根據權利要求1所述的1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，其特征在于加熱室(2) 六個面的隔熱層壁用高溫成型的硬質復合碳纖維氈制造，加熱器(3)、密封箱(6)、支撐料 架(5)及與密封箱(6)相連的石墨管(16)均采用耐高溫，本身揮發物少的優質石墨制造。

4.根據權利要求1所述的1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，其特征在于與加熱器(3) 相連的石墨電極(9)垂直穿過加熱室(2)的隔熱層壁，并由內剛玉陶瓷管(22)，外層剛玉管(21) 依次同軸套在石墨電極(9)外周與加熱室(2)隔熱層壁的外壁之間，外層剛玉管(21)一端有外 沿，突出于加熱室(2)隔熱層壁的外壁固定，再將氮化硼絕緣管(23)、起增強作用的氮化 硼絕緣環(24)依次同軸套在石墨電極(9)外周與加熱室(2)隔熱層壁的內壁之間。

5.根據權利要求4所述的1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，其特征在于氮化硼絕緣 管(23)一端形成外凸臺，起增強作用的氮化硼絕緣環(24)套在外凸臺上，氮化硼絕緣環(24) 內徑與氮化硼絕緣管(23)外徑相匹配。

6.根據權利要求1所述的1800度高溫保護氣氛真空燒結爐，其特征在于真空燒結爐 的工藝流程控制：準備工作是檢查真空燒結爐的電源、氣源、水源，在觸摸屏上編制加熱 工藝流程、啟動真空燒結爐，對爐內抽真空；兩種用途選擇：一是真空加熱，根據編制的 加熱工藝流程內容，真空狀態下自動啟動加熱程序，對真空燒結爐加熱、按照編制的加熱 工藝流程升溫，最終升溫到1700～1800℃，保持加熱工藝流程要求時間；另一種保護氣氛 燒結用途：根據編制的加熱工藝流程內容，對爐內密封箱充入惰性氣體，充氣完成后，自 動啟動加熱程序，真空燒結爐在保護氣氛下加熱，惰性氣體排出帶走揮發物，按照編制的 加熱工藝流程升溫，最終升至1700～1800℃，保持加熱工藝流程要求時間；上述兩種用途 共同使用的步驟：加熱過程結束，停止加熱，開始自然降溫、降溫到設定的溫度后，繼續 充入惰性氣體，然后啟動風機，真空燒結爐進入強制冷卻過程，降溫到設定的溫度后，繼 續冷卻，并開始計時，到達設定時間后冷卻停止，出爐。