[發明專利]一種制備超晶格熱電薄膜材料的雙閃蒸法裝置

有效

• 申請號: 200910186510.1
• 申請日: 2009-11-18
• 公開（公告）號: CN101698931A
• 公開（公告）日: 2010-04-28
• 發明（設計）人: 段興凱;江躍珍;胡孔剛
• 申請（專利權）人: 九江學院
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115
• 代理人: 施秀瑾

1.一種制備超晶格熱電薄膜材料的雙閃蒸法裝置，其特征在于：襯 底裝置由調速電動機(1)，襯底支架(2)，加熱器(3)，襯底(4)，石 英晶體振蕩監厚儀(5)，擋板(6)和熱電偶(21)組成，調速電動機(1) 與襯底支架(2)連接，襯底安裝在襯底支架(2)的下面，襯底支架(2) 位于真空腔體(16)內，加熱器(3)位于襯底(4)的上面，熱電偶(21) 用來測量襯底(4)的溫度，送粉器由盛粉容器(7)，石英管(8)和時間 繼電器(9)組成，送粉器固定在真空腔體(16)內壁上，另一送粉器同樣 由時間繼電器(18)，石英管(19)和盛粉容器(20)組成，固定在真空腔 體(16)內壁上，加熱系統位于真空腔體的底部。

2.根據權利要求1所述的一種制備超晶格熱電薄膜材料的雙閃蒸法裝 置，其特征在于：所述的真空腔體(16)上開有進水口(12)、出水口(17)， 真空系統由高真空機組(11)和充氣閥(10)組成，高真空機組(11)與 真空腔體(16)相連。

3.根據權利要求1所述的一種制備超晶格熱電薄膜材料的雙閃蒸法裝 置，其特征在于：所述的加熱系統由電阻加熱爐(13)，鉭片(14)和熱電 偶(15)組成。