[發(fā)明專利]電鍍陽極裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910184877.X
• 申請(qǐng)日: 2009-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN101694006A
• 公開（公告）日: 2010-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何明;賴志明;陳錦輝;章力;龍欣江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司
• 主分類號(hào): C25D17/10
• 分類號(hào): C25D17/10
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210
• 代理人: 唐紉蘭

(一)技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種電鍍陽極裝置，用于晶圓的電鍍。屬電鍍?cè)O(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

傳統(tǒng)的晶圓電鍍?cè)O(shè)備內(nèi)陽極放置方法是直接將陽極裸露在電鍍槽液中，如圖2、圖3和圖4所示。它是通過直接與導(dǎo)線、掛鉤、鈦籃等裝置相連，形成電鍍電流的陽極端口。這種方式放置陽極主要存在以下不足：

1、不適用于精細(xì)鍍層產(chǎn)品

在電鍍時(shí)，陽極會(huì)損耗，并產(chǎn)生陽極泥。陽極泥擴(kuò)散到鍍液中，污染鍍液，電鍍液純凈度降低，電鍍液質(zhì)量下降，不溶性的陽極泥在電鍍過程中被夾雜到鍍層中，影響鍍層表面質(zhì)量和純凈度。

2、陽極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)不可靠

陽極與導(dǎo)線、掛鉤、鈦籃等裝置相連，沒有另外添加緊固裝置。在電鍍時(shí)，(銅、錫等)陽極會(huì)消耗，陽極經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間損耗，會(huì)與導(dǎo)線、掛鉤、鈦籃等裝置脫離或松動(dòng)，接觸不可靠，在電鍍過程中，出現(xiàn)電鍍中斷異常，影響電鍍操作的穩(wěn)定性和電鍍鍍層的質(zhì)量。

3、陽極利用效率不高

目前，陽極須預(yù)留足夠的體積，配合導(dǎo)線、掛鉤等裝置的安裝。然而，在電鍍時(shí)，因陽極會(huì)消耗，陽極的尺寸逐漸減少，當(dāng)陽極減損到一定程度，導(dǎo)線或掛鉤等裝置無法與陽極保持良好的接觸，不能滿足實(shí)際生產(chǎn)需要，必須得更換，陽極利用率很低。

4、陽極放置空間受到限制

陽極與掛鉤裝置相連，或安放在鈦籃中，陽極在電鍍槽的放置位置受到掛鉤及鈦籃的很大約束。

(三)發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種能將陽極泥封閉其中、陽極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)可靠、陽極利用效率高以及陽極放置空間不受限制的電鍍陽極裝置。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種電鍍陽極裝置，所述裝置包括一盒體，該盒體中心豎直設(shè)置有一立柱，立柱上端制有外螺紋；該盒體底部開設(shè)有液體存儲(chǔ)槽和液體交流通孔；該盒體內(nèi)放置有鈦板，鈦板和一導(dǎo)線由鈦螺絲固定在盒體底部，鈦板上端面上設(shè)置觸點(diǎn)，鈦板上放置一陽極，該陽極上覆蓋一陽極布，所述鈦板、陽極和陽極布均套裝在所述盒體中心的立柱上，并用緊固螺母旋緊；在盒體頂部安裝一上蓋，形成封閉結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明電鍍陽極裝置，所述觸點(diǎn)呈長(zhǎng)方形開口塊狀。

本發(fā)明的特點(diǎn)是：

1、盒體底部開設(shè)液體存儲(chǔ)槽和液體交流通孔。盒體內(nèi)的鍍液濃度會(huì)隨著陽極的消耗而逐漸增加，增加到一定程度，鍍液內(nèi)金屬離子含量達(dá)到飽合，會(huì)形成結(jié)晶。液體存儲(chǔ)槽為高濃度鍍液的擴(kuò)散提供了條件；液體交流通孔為盒體內(nèi)、外液體交換提供了微小通道，防止盒體內(nèi)的金屬離子含量過高達(dá)到飽合而析出。同時(shí)，因?yàn)橐后w交流通孔孔徑很小，所以基本不影響陽極泥的外漏進(jìn)行到鍍液中。

2、鈦板上設(shè)置長(zhǎng)方形開口塊狀的觸點(diǎn)，該長(zhǎng)方形開口塊狀的觸點(diǎn)有一定翹起高度，具有一定彈力，開口大小及數(shù)量根據(jù)陽極大小設(shè)定。觸點(diǎn)翹起到一定高度后具有一定彈力，頂壓著上方的陽極，陽極上方加固緊固螺母。這樣，就形成了力相互壓制關(guān)系，陽極始終處于被鈦板受壓狀態(tài)，使陽極接觸可靠、穩(wěn)定。

3、鈦板上連著陽極導(dǎo)線，導(dǎo)線連接到電源陽極端口(所用導(dǎo)線不受鍍液腐蝕)。這樣，陽極的損耗不會(huì)影響到接線的可靠性。

4、陽極裝入盒體中后，在陽極上覆蓋一層陽極布，然后加上上蓋，形成封閉結(jié)構(gòu)。這樣，既不影響電鍍效果，又可將陽極泥基本封閉在盒體中。陽極泥增加到一定量后，再統(tǒng)一清理。

5、陽極無須預(yù)留足夠的體積來配合導(dǎo)線、掛鉤等裝置的安裝。

采用本發(fā)明放置陽極的裝置，與傳統(tǒng)的陽極放置方式相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)：

1、極大減小了鍍液受陽極泥的污染的可能，不僅增加了鍍液的使用壽命，而且提高電鍍鍍層質(zhì)量。

2、陽極導(dǎo)電結(jié)構(gòu)變得可靠、穩(wěn)定，降低電鍍跳電中斷的可能。

3、陽極使用壽命得到很大程度提高。

4、陽極在鍍槽中的位置可根據(jù)需求合理安排。

5、電鍍過程更加穩(wěn)定。

6、陽極利用效率高。

(四)附圖說明

圖1為本發(fā)明電鍍陽極裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖一。

圖3為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖二。

圖4為傳統(tǒng)陽極放置方式示意圖三。

圖中：

上蓋1

陽極2

緊固螺母3

陽極布4

盒體5、立柱51、外螺紋511、液體存儲(chǔ)槽52、液體交流通孔53；

鈦板6、觸點(diǎn)61；

鈦螺絲7

導(dǎo)線8

掛鉤9

鈦籃10。

(五)具體實(shí)施方式