[發明專利]PECVD用硅片載片器的變換裝置

有效

• 申請號: 200910183760.X
• 申請日: 2009-08-07
• 公開（公告）號: CN101634015A
• 公開（公告）日: 2010-01-27
• 發明（設計）人: 尤耀明
• 申請（專利權）人: 無錫綠波新能源設備有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/54;H01L31/18;H01L31/20;H01J37/02;H01J37/32
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本發明涉及一種太陽能光伏產業工藝設備，具體地說是用于平板爐PECVD(等離子增強化學氣相沉積)中的配套裝置。

背景技術

太陽能電池主要有125型(即125x125)、156型(即156x156)等規格，相應的硅片載片器也有125型、156型等規格。在進行平板爐PECVD的工藝時，硅片是放在同一規格的硅片載片器的掛鉤上，由于平板爐是連續生產，配置的硅片載片器至少要10只以上。因其價格很貴，有些廠家只配置了156規格的硅片載片器，如果要生產125規格的產品就需要另外配備125型的，從而增加了采購成本。

發明內容

本發明針對上述問題，提供一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，該裝置安裝于156型硅片載片器上，可將156型變換成125型的硅片載片器，可大幅度降低采購成本。

按照本發明的技術方案：一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，包括板體，其特征是：所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體成十字形；板體的一面設置與所述十字形對應的十字槽；所述十字槽的寬度與第一種規格的硅片載片器的框桿寬度相等，支臂的寬度為第一種規格的硅片載片器的邊長與第二種規格的硅片載片器的邊長之差再加上第一種規格的框桿寬度之和。

各個相鄰的支臂的交叉處設置有過渡圓弧。所述支臂的兩個外側面上對稱地設置有半腰圓槽，半腰圓槽的對稱線垂直于所述支臂的邊線，所述支臂上設置有圓孔，圓孔的中心線在半腰圓槽的對稱線上。在處于同一直線上的兩個支臂中，一個支臂的外端與所述十字槽的同側設置有第一臺肩，另一個支臂的外端與所述十字槽的相反側設置有第二臺肩。

本發明的技術效果在于：本發明安裝于第一種規格的硅片載片器交叉處，將第一種規格的硅片載片器轉換為第二種規格的硅片載片器，用于生產第二種規格的產品，可以節省采購成本；拆除本發明后，又可以生產第一種規格的產品，轉換方便；支臂的交叉處設置有過渡圓弧，可組裝成第二種規格的單晶硅片載片器，可以用來生產單晶硅片。

附圖說明

圖1為156型硅片載片器中的一個方框的結構示意圖；

圖2為本發明的結構示意圖；

圖3為本發明安裝于156型硅片載片器上的結構示意圖。

具體實施方式

本發明是一種PECVD用硅片載片器的變換裝置，具體實施例是將156型硅片載片器變換為125型硅片載片器。圖1為156型硅片載片器中的一個方框1的結構示意圖。

如圖2所示，本發明PECVD用硅片載片器的變換裝置2，包括十字形的板體3，所述板體3的角部以板體3的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂10，板體3的一側表面設置有十字槽4，十字槽4的寬度與第一種規格的C/C框的框桿寬度相等，支臂10的寬度為第一種規格的硅片載片器的邊長與第二種規格的硅片載片器的邊長之差再加上第一種規格的硅片載片器的框桿寬度之和。

各個相鄰的支臂10的交叉處設置有過渡圓弧6。所述支臂10的兩個外側上分別設置有半腰圓槽7，半腰圓槽7的對稱線垂直于所述支臂10的邊線，所述支臂10內設置有圓孔9，圓孔9的中心線在半腰圓槽7的對稱線上。半腰圓槽7與圓孔9相配合用來安裝掛鉤。

處于同一直線上的兩個支臂10，一個支臂10的外端與所述十字槽4的同側設置有第一臺肩8，另一個支臂10的外端與所述十字槽4的相反側設置有第二臺肩5。如圖3所示，四個PECVD用硅片載片器變換裝置2安裝于156型硅片載片器的方框1的四個交叉處，十字槽4嵌入方框1的框桿內，第一臺肩8與第二臺肩5相搭接，將156型硅片載片器轉換為125型的硅片載片器，生產125型多晶產品。支臂10的交叉處設置有過渡圓弧6，可組裝成125型單晶硅片載片器，可以用來生產單晶硅片。使用本發明，可節省2/3的硅片載片器成本。

拆除本發明后又可進行156規格產品的生產。本發明裝卸方便，使用效果好。