[發(fā)明專利]馬赫-曾德爾干涉型微流控光學陀螺芯片

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910181888.2
• 申請日: 2009-07-31
• 公開（公告）號: CN101629824A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發(fā)明（設計）人: 涂興華;梁忠誠;徐寧;沈鵬;黃舒舒
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: G01C19/64
• 分類號: G01C19/64;G02F1/35
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 葉連生

1.一種馬赫-曾德爾干涉型微流控光學陀螺芯片，其特征在于該芯片的結構采用“上蓋板+微型氣泵層+光波導層+下底板”的夾心結構，其中：第一層為上蓋板(11)，上面留有排氣孔(3)、注液孔(2)和第一電極孔(1)、第二電極孔(4)；第二層為由PDMS薄膜構成的微型氣泵層(12)，其上有第一微型氣泵模塊(5)、第二微型氣泵模塊(6)，以及與上蓋板(11)對應匹配的排氣孔、注液孔及電極孔；第三層為光波導層(13)，其中的微流道(10)與微環(huán)腔(9)相連通，并通過微環(huán)腔(9)與中部的儲液小槽連通；第四層為下底板(14)，在下底板下有支撐系統(tǒng)的支點；從橫向看，第一微型氣泵模塊(5)及第二微型氣泵模塊(6)分別加載于微環(huán)腔(9)兩側，做為環(huán)形流道微環(huán)腔(9)與中部的儲液小槽相連通，并通過上下兩部分的第一耦合器(7)、第二耦合器(8)實現與微流道(10)之間的耦合分離與匯聚輸出；其中，儲液小槽上留有相應的注液孔(2)及排氣孔(3)；第一微型氣泵模塊(5)及第二微型氣泵模塊(6)上分別留有第一電極孔(1)和第二電極孔(4)。

2.根據權利要求1所述的馬赫-曾德爾干涉型微流控光學陀螺芯片，其特征在于上蓋板(11)、光波導層(13)和下底板(14)皆采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)，上蓋板、下底板均鍍有反射膜，光波導層(13)的PDMS基質上表面鍍有聚乙烯醇(PVA)薄膜，上蓋板(11)下表面與微型氣泵層(12)上表面通過等離子輔助鍵合方式連接，上蓋板上的注液孔(2)和排氣孔(3)貫穿微型氣泵層，并通過儲液小槽連通光波導層(13)；下底板(14)上表面通過等離子輔助鍵合方式與光波導層(13)的PDMS基質下表面實現連接粘合。

3.根據權利要求1所述的馬赫-曾德爾干涉型微流控光學陀螺芯片，其特征在于第一微型氣泵模塊(5)中的微型泵屬于機械微泵中的熱氣動力微泵，其結構由一個腔體、一個泵膜、兩個被動單向閥和一個制動器組成，腔體的一側用一彈性膜封閉，通過改變控制電壓，彈性膜上下移動，使腔體內的氣體在高壓，低壓之間交替變化，可實現液體通過泵的連續(xù)運動。