[發明專利]圖像傳感器及其制造方法

無效

• 申請號: 200910179139.6
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN101715082A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 黃俊
• 申請（專利權）人: 東部高科股份有限公司
• 主分類號: H04N5/335
• 分類號: H04N5/335;H04N3/15;H01L27/146;H01L21/82
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 張浴月;張志杰

1.一種圖像傳感器，包括：

位于第一襯底的讀出電路；

位于所述第一襯底上的金屬線，該金屬線電連接至所述讀出電路；

位于所述金屬線上的絕緣層；

位于所述絕緣層上的電極；

位于所述電極上的圖像傳感器件；以及

位于所述圖像傳感器件中的像素分離區域。

2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述讀出電路中的晶體管的高度約是所述電極和所述金屬線之間的距離的5倍到15倍。

3.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括位于所述第一襯底中的電結區，該電結區電連接至所述讀出電路。

4.根據權利要求3所述的圖像傳感器，其中所述電結區包括：

位于所述第一襯底中的第一導電類型離子注入區；以及

位于所述第一導電類型離子注入區上的第二導電類型離子注入區。

5.根據權利要求3所述的圖像傳感器，還包括位于所述電結區和所述金屬線之間的第一導電類型連接件。

6.根據權利要求5所述的圖像傳感器，其中所述第一導電類型連接件設置在所述電結區上或設置在所述電結區的一側，并電連接至所述金屬線。

7.根據權利要求3所述的圖像傳感器，其中所述讀出電路包括至少一個晶體管，所述晶體管具有源極和漏極，并且其中所述讀出電路在所述至少一個晶體管的所述源極和所述漏極之間具有電勢差。

8.根據權利要求7所述的圖像傳感器，其中所述晶體管為轉移晶體管，并且

其中所述晶體管的源極的離子注入濃度比所述讀出電路的浮置擴散區的離子注入濃度小。

9.一種圖像傳感器的制造方法，該方法包括：

在第一襯底上形成讀出電路；

在所述第一襯底上形成金屬線，該金屬線電連接至所述讀出電路；

在第二襯底上形成圖像傳感器件；

在所述圖像傳感器件上形成電極；

在所述電極上形成絕緣層；

將所述第一襯底和所述第二襯底接合，以使所述第二襯底的絕緣層接觸所述第一襯底；以及

在所述圖像傳感器件中形成像素分離區域。

10.一種圖像傳感器的制造方法，該方法包括：

在第一襯底上形成讀出電路；

在所述第一襯底上形成金屬線，該金屬線電連接至所述讀出電路；

在所述金屬線上形成電極；

在所述電極上形成絕緣層；

在第二襯底上形成圖像傳感器件；

將所述第一襯底和所述第二襯底接合，以使所述電極接觸所述圖像傳感器件；以及

在所述圖像傳感器件中形成像素分離區域。