[發明專利]圖像傳感器及其制造方法

無效

• 申請號: 200910179137.7
• 申請日: 2009-09-29
• 公開（公告）號: CN101715080A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 黃俊
• 申請（專利權）人: 東部高科股份有限公司
• 主分類號: H04N5/335
• 分類號: H04N5/335;H04N3/15;H01L27/146;H01L21/82
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 姜燕;陳晨

1.一種圖像傳感器，包括：

讀出電路，位于第一襯底上；

電接合區，電連接到所述讀出電路；

層間電介質，設置在所述第一襯底上；

互連件，位于所述層間電介質中并電連接到所述電接合區；以及

所述互連件上的圖像感測器件，所述圖像感測器件包括第一導電類型層和第二導電類型層。

2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述讀出電路包括具有源極和漏極的至少一個晶體管，并且其中所述讀出電路在所述至少一個晶體管的源極和漏極之間具有電勢差。

3.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括所述電接合區與所述互連件之間的第一導電類型連接件。

4.根據權利要求3所述的圖像傳感器，其中所述第一導電類型連接件設置在所述電接合區上，并電連接到所述互連件。

5.根據權利要求3所述的圖像傳感器，其中所述第一導電類型連接件設置在所述電接合區的一側，并電連接到所述互連件。

6.根據權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

接觸栓塞，通過穿過所述圖像感測器件的通孔，將所述第一導電類型層電連接到所述互連件；以及

側壁電介質，位于所述通孔內的所述第二導電類型層的側壁上。

7.根據權利要求6所述的圖像傳感器，還包括填充所述通孔且位于所述側壁電介質上的第三電介質；

其中所述接觸栓塞與所述第一導電類型層接觸。

8.根據權利要求7所述的圖像傳感器，其中所述側壁電介質設置在所述接觸栓塞與所述第二導電類型層之間，并且其中所述接觸栓塞的上表面比所述第二導電類型層的下表面低。

9.一種用于制造圖像傳感器的方法，該方法包括：

在第一襯底上形成讀出電路；

在所述第一襯底上形成層間電介質；

在所述層間電介質中形成互連件，所述互連件電連接到所述讀出電路；

提供具有圖像感測器件的第二襯底，所述圖像感測器件包括第一導電類型層和第二導電類型層；

在所述層間電介質上鍵合所述第二襯底；

去除所述第二襯底的不包括所述圖像感測器件的一部分；以及

在去除所述第二襯底的一部分之后，在所述圖像感測器件的暴露表面上執行第一濕式蝕刻工藝。

10.根據權利要求9所述的方法，還包括形成電接合區，該電接合區電連接到所述第一襯底上的讀出電路；

其中所述形成電接合區包括：

在所述第一襯底上形成第一導電類型離子注入區；以及

在所述第一導電類型離子注入區上形成第二導電類型離子注入區；

其中所述讀出電路包括具有源極和漏極的至少一個晶體管，并且其中所述讀出電路在所述至少一個晶體管的源極和漏極之間具有電勢差。