[發明專利]靜電吸盤組裝裝置

無效

• 申請號: 200910178184.X
• 申請日: 2009-10-15
• 公開（公告）號: CN102039521A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 林博鏞;陳嘉明
• 申請（專利權）人: 韶陽科技股份有限公司
• 主分類號: B23P19/04
• 分類號: B23P19/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本發明是關于一種吸盤裝置的設計，特別是關于一種能吸附保持半導體晶圓等導體或半導體，并能吸附保持液晶面板用的玻璃板與觸控面板用的玻璃板、塑膠板等絕緣體的靜電吸盤組裝裝置。

背景技術

在使用半導體晶圓來制造半導體集成電路時，或制造使用了玻璃基板、薄膜等絕緣性基板的液晶面板時，為了將被吸附體吸附并保持于預定部位，是使用機械性方法來運作的機械夾盤或是真空夾盤等。然而，機械夾盤或是真空夾盤存在有難以將被吸附體均勻的保持于預定位置、無法在真空中使用等問題。為了解決上述所提到的問題，因此，近年來是使用能解決這些問題的靜電夾盤裝置。

靜電夾盤裝置的主要部分為成為內部電極的導電性支撐構件，以及覆蓋導電性支撐構件的電介質材料，而能吸附被吸附體。對靜電夾盤裝置內的內部電極施加電壓，由此于被吸附體與支撐構件之間產生電位差，而在電介質層之間生靜電性的吸附力。如此，被吸附體會被導電性支撐構件大致平坦地支撐。

中國臺灣省專利公開號第200832604號專利案中提出一種靜電夾盤裝置。所述靜電夾盤裝置的目的之一是提供一種于絕緣性有機薄膜上層疊陶瓷而由此提升對物理性外力的承受力，且具有良好的耐電壓特性以及良好的吸附力的靜電夾盤裝置，本發明的另一目的是提供一種于絕緣性有機薄膜層疊有用以吸附被吸附體的陶瓷層的靜電夾盤裝置，其中，前述陶瓷層的吸附面的表面粗糙度Ra為7.0μm以下。

然而，上述所提到的靜電夾盤裝置，將陶瓷層疊于有機薄膜上雖然可以強化對于物理性外力的承受力，以及具有良好的耐電壓特性及吸附性，但是以現有的技術而言，陶瓷有著加工不易以及成本較高的問題。因此，如何保有陶瓷較佳的吸附力，又能夠降低靜電夾盤裝置的制造成本，成為一待解決的問題。

由此可見，現有的靜電夾盤裝置所衍生的問題及不足，實非一良善的設計，而亟待加以改良。

本案發明人鑒于上述靜電夾盤裝置所衍生的各項問題及不足，乃亟思加以改良創新，并經多年苦心孤詣潛心研究后，終于成功研發完成本件靜電吸盤組裝裝置。

發明內容

本發明的一目的即是提供一種靜電吸盤組裝裝置，通過本創作所提供的靜電吸盤組裝裝置，以產生較佳的吸附力。

可達成上述發明目的的靜電吸盤組裝裝置，包括一基板、一靜電線路、一絕緣層，及一保護膜。基板具有一頂面及一底面，且基板上具有多個貫孔由頂面貫通至底面，靜電線路經由曝光、顯影、蝕刻固設于基板的頂面，絕緣層經由粘著劑固設于靜電線路上方，保護膜貼附于絕緣層之上；靜電線路具有對應于基板的貫孔的導線連接孔，用以使導線經由貫孔連接于導線連接孔，并將電力經由導線導通至靜電線路，使通電之后的靜電線路與待吸附體之間產生電位差，并通過靜電線路與待吸附體之間的電位差，使形成于靜電線路上方的絕緣層產生靜電吸附力，而將待吸附體予以吸附。

經由本發明所采用的技術手段，由于本發明是通過靜電線路通電之后使絕緣層產生靜電吸附力，并經由形成于絕緣層上方的保護膜將待吸附體予以吸附。由此，不但簡化了現有的靜電夾盤的結構，縮短了制造過程中所花費的時間。而且，由于本發明使用高介電系數的絕緣材料取代了現有的陶瓷層，不但保留了陶瓷層所擁有的良好的吸附力，而且由于絕緣層的制造技術較為單純，制作過程較為容易，而且制造費用也比陶瓷便宜許多。由此，不但解決了現有技術中，陶瓷層加工不易的問題，而且，也大幅降低了制造過程中所耗費的成本，有利于大量生產。

附圖說明

圖1是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置的分離示意圖；

圖2是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置的結合示意圖；

圖3是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置的底視圖；

圖4是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置較佳實施例的示意圖。

附圖標記說明：100-靜電吸盤組裝裝置；1-基板；11-頂面；12-底面；13a、13b-貫孔；2-靜電線路；21a、21b-導線連接孔；3-絕緣層；4-保護膜；5a、5b-導線；6-待吸附體。

具體實施方式

為使貴審查員方便了解本發明的其他特征內容與優點，及其所達成的功效能夠更為顯現，現將本發明配合附圖，詳細說明如下：

請同時參閱圖1至圖3，圖1是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置的分離示意圖，圖2是顯示本發明靜電吸盤組裝裝置的結合示意圖，圖3是顯示本發明的靜電吸盤組裝裝置的底視圖。如圖所示，本發明靜電吸盤組裝裝置100包括一基板1、一靜電線路2、一絕緣層3，及一保護膜4。