[發明專利]光學式異物檢測裝置以及搭載它的處理液涂布裝置

有效

• 申請號: 200910176670.8
• 申請日: 2009-09-24
• 公開（公告）號: CN101685070A
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發明（設計）人: 大塚慶崇;高木貴生;中滿孝志
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;B05C5/00;B05C11/10
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;陳立航

技術領域

本發明涉及一種以光學方式對在被處理基板上附著有塵埃等異物的狀態進行檢測的檢測裝置、以及搭載該檢測裝置來對上述被處理基板涂布處理液的例如狹縫涂布(slit?coat)式處理液涂布裝置。?

背景技術

例如在LCD制造技術領域中，執行將形成在LCD基板上的半導體層、絕緣體層以及電極層等選擇性地蝕刻為規定圖案的工序。在這種情況下應用如下的所謂光刻(lithography)技術：在上述LCD基板上涂布光致抗蝕(photo?resist)液來形成抗蝕膜，與電路圖案相對應地對抗蝕膜進行曝光，并對其進行顯影處理。?

在上述LCD基板上涂布光致抗蝕液的情況下，已知如下涂布方法：采用帶狀地噴出抗蝕液的抗蝕劑供給噴嘴，使方形LCD基板沿與利用上述噴嘴噴出抗蝕液的噴出方向正交的方向相對地進行平行移動來進行涂布，其中，上述抗蝕液是將感光性樹脂溶解在溶劑中而成。在這種情況下，上述抗蝕劑供給噴嘴中具備沿LCD基板的寬度方向延伸的具有微小間隔的狹縫狀的噴出開口，將從該狹縫狀的噴出開口帶狀地噴出的抗蝕液供給到基板的整個表面，從而形成抗蝕層。?

根據該方法，能夠從上述基板的一邊到另一邊帶狀地噴出(供給)抗蝕液，因此能夠在整個基板上均勻且有效地形成抗蝕層。關于這種狹縫涂布式的處理液涂布裝置，在本發明申請人以前申請的例如下面所示的專利文獻1中示出。?

[專利文獻1]日本特開平10-156255號公報?

另外，在上述結構的處理液涂布裝置中，為了通過一次涂布動作而得到均勻的膜厚，在從狹縫狀噴出開口噴出上述抗蝕液的情況下，伴有一邊拉伸該膜厚一邊將該膜厚形成為均勻的層狀的動作。為此，與膜厚相對應地將用于噴出上述抗蝕液的噴嘴和上述基板之間的間隙(氣隙(air?gap))設定為極小，兩者例如具有100μm左右的間隙而相對移動。?

當對基板涂布以上述抗蝕液為代表的處理液時，噴嘴和基板具有上述微小間隔而相對移動，因此例如在塵埃等異物附著在基板上的情況下，在該涂布動作過程中發生上述異物接觸到上述噴嘴前端部的問題。另外，在異物存在于上述基板與載置并保持該基板的載物臺(stage)之間的情況下，基板的一部分變形為山狀，因此伴隨著噴嘴與基板的相對移動，發生基板被強力地壓在噴嘴前端部上的問題。?

特別是如后者那樣，在異物存在于上述基板與載物臺之間的情況下，基板破損是顯然的，還對噴嘴前端部造成損傷，在涂布的處理液上產生所謂的條痕(筋引き)。為此，需要進行上述噴嘴的更換以及伴隨此更換的調節作業等，還發展為基板的制造線不得不長時間停止運行的問題。?

因此，本發明申請人提出了采用如下光學檢測單元的狹縫涂布式涂布裝置，并將其公開在專利文獻2中，該光學檢測單元通過向上述處理液噴嘴的相對前進方向的前方沿水平方向投射光束，能夠檢測出被處理基板上的異物或者由于該異物而上述基板從載物臺隆起的異常狀態。?

[專利文獻2]日本特開2007-85960號公報?

發明內容

發明要解決的問題

另外，在上述專利文獻2中所示的光學式異物檢測裝置中，采用光透過型傳感器單元并使用檢測單元，該光透過型傳感器單元包括沿著載置在載物臺上的被處理基板的上表面而投射例如激光等光束的光投射部以及接收上述光束的受光部(照相機)，該檢測單元判斷上述光束的受光輸出和上述受光輸出的單位時間的變化量(微分值)是否大于等于規定值。?

如上所述，特別是根據利用受光輸出的微分值來檢測異物的結構，能夠提高異物檢測精確度，因此通過將該結構采用于專利文獻2中公開的狹縫涂布式涂布裝置中，從而能夠有助于提高涂布裝置的運轉率。?

然而，如上所述，即使利用激光等光束，在向空間投射光的情況下，無法忽略因空氣密度的變化而產生的光折射的影響，另外，受到因載置基板的載物臺和處理液供給噴嘴等的相對移動而產生的微振動的影響，在異物檢測判斷中在提高其精確度上存在限度等，在異物檢測判斷單元中還存在改進的余地。?

因此，本發明的課題在于提供一種如下的光學式異物檢測裝置以及搭載該光學式異物檢測裝置的處理液涂布裝置：在異物的相對移動方向、換句話說在光透過型傳感器單元的相對移動方向上分為多個區域來以光學方式進行異物檢測，通過追溯歷史記錄來統計數據，由此能夠提高對異物的反應靈敏度且在是否存在異物的判斷中能夠確保更高精確度。?

用于解決問題的方案