[發(fā)明專利]光柵外腔半導(dǎo)體激光器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910176601.7
• 申請日: 2009-09-23
• 公開（公告）號: CN102025106A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 臧二軍;彭瑜;曹建平;李燁;方占軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國計量科學(xué)研究院
• 主分類號: H01S5/14
• 分類號: H01S5/14;H01S5/065;H01S5/06
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 李弘

1.一種光柵外腔半導(dǎo)體激光器，其特征在于，包括：半導(dǎo)體激光管、光柵和半波片；

半導(dǎo)體激光管發(fā)出的光通過半波片入射到光柵，光柵的零級衍射光作為半導(dǎo)體激光器的輸出光，光柵的一級衍射光作為反饋光沿原路返回；所述反饋光的強度通過旋轉(zhuǎn)所述半波片以改變?nèi)肷涔獾钠穹较騺磉M(jìn)行調(diào)節(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器為Littrow結(jié)構(gòu)外腔半導(dǎo)體激光器；

或者為Littman結(jié)構(gòu)外腔半導(dǎo)體激光器；

或者為半導(dǎo)體激光激光管發(fā)出的激光入射到光柵上的入射角θi小于光柵一級衍射光的衍射角θd的光柵掠衍射外腔半導(dǎo)體激光器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述光柵掠衍射外腔半導(dǎo)體激光器還包括準(zhǔn)同步調(diào)諧機構(gòu)，所述準(zhǔn)同步調(diào)諧機構(gòu)圍繞一個準(zhǔn)同步調(diào)諧轉(zhuǎn)動中心Pq轉(zhuǎn)動所述光柵，使得在轉(zhuǎn)動期間光柵衍射表面所在的平面反射表面所在的平面與該準(zhǔn)同步調(diào)諧點(Pq)之間的距離保持不變，從而實現(xiàn)光柵和諧振腔選頻作用的準(zhǔn)同步調(diào)諧，其中以下述方式來確定所述準(zhǔn)同步調(diào)諧轉(zhuǎn)動中心：

確定一個同步調(diào)諧點P0，使得當(dāng)以該同步調(diào)諧點P0為轉(zhuǎn)動中心轉(zhuǎn)動光柵時，在半導(dǎo)體激光器的諧振腔內(nèi)激光光束的往返相位差保持不變，所述準(zhǔn)同步調(diào)諧點Pq位于一條經(jīng)過該同步調(diào)諧點P0的直線上，該直線相對于入射到光柵上的光線方向的夾角根據(jù)激光光束在光柵上的入射角與衍射角之差Δθ來確定，即當(dāng)轉(zhuǎn)動光柵時，所述夾角為Δθ/2。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述準(zhǔn)同步調(diào)諧機構(gòu)通過調(diào)節(jié)螺釘來調(diào)整所述光柵或反射鏡的轉(zhuǎn)動角度，和/或通過在壓電陶瓷上施加控制電壓來對該轉(zhuǎn)動角度進(jìn)行微調(diào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器還包括以下至少一種：

半導(dǎo)體激光管熱沉，用于半導(dǎo)體激光管的溫度控制；

電流控制裝置，用于控制半導(dǎo)體激光管的輸入電流。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，還包括半波片調(diào)整鏡套，用于旋轉(zhuǎn)所述半波片以改變?nèi)肷涔獾钠穹较颉?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，該半導(dǎo)體激光器還包括：準(zhǔn)直透鏡，所述半導(dǎo)體激光管發(fā)出的光束首先經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后再入射到其他光學(xué)器件。