[發(fā)明專利]三維形狀測定裝置用測定探頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910175503.1 | 申請日： | 2007-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN101660900A | 公開（公告）日： | 2010-03-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吉住惠一;久保圭司;望月博之;舟橋隆憲 | 申請（專利權(quán)）人： | 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 三維 形狀 測定 裝置 探頭 | ||
1.一種三維形狀測定裝置用測定探頭，其中，
具有：
激光光源(31)；
透鏡(14)，其使從所述激光光源發(fā)出的激光聚集在與觸針(5)一 體連結(jié)的反光鏡(9)上；
衍射光柵(8)，其配置在通過該透鏡聚光在所述反光鏡的反光鏡反 射面上后、由所述反射面反射的激光的激光光路中，并且為同心圓狀，形 成在同心圓的中心從所述激光光路偏離的位置；
第一光檢測器群(34D、34E、34F)，其接收由該衍射光柵生成的正 一次衍射光；和
第二光檢測器群(34A、34B、34C)，其接收由所述衍射光柵生成的 負一次衍射光；
所述三維形狀測定裝置用測定探頭構(gòu)成為將所述第一光檢測器群和 所述第二光檢測器群的輸出作為聚焦誤差信號，并內(nèi)置所述透鏡，
從所述激光光源(31)發(fā)出的光首先經(jīng)過所述衍射光柵(8)，在所 述衍射光柵(8)的作用下，其大約半數(shù)的光成為直接通過的零次光，剩 下的其他的半數(shù)光成為衍射光，只有所述零次光由所述透鏡(14)聚光射 入所述反光鏡(9)中，在所述反光鏡(9)反射的零次光再次經(jīng)過所述衍 射光柵(8)，在所述衍射光柵(8)的作用下，被分成零次光和所述正一 次衍射光或所述負一次衍射光，所述零次光返回到半導(dǎo)體激光器側(cè)，并且 利用所述第一光檢測器群(34D、34E、34F)對在所述反光鏡(9)反射 的零次光經(jīng)由所述衍射光柵(8)而分光后的所述正一次衍射光進行受光， 利用所述第二光檢測器群(34A、34B、34C)對在所述反光鏡(9)反射 的零次光經(jīng)由所述衍射光柵(8)而分光后的所述負一次衍射光進行受光。
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