[發明專利]光波導路及其制造方法

無效

• 申請號: 200910173998.4
• 申請日: 2009-10-22
• 公開（公告）號: CN101726793A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 程野將行;松尾直之
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12;G02B6/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光波導路，包括作為光路的芯層和夾持、覆蓋該芯層的2個敷層，其特征在于，利用通過上述任一個敷層而照射來的多次的激光，在上述芯層的規定區域沿著相對于該芯層的光軸方向以所需要的角度傾斜的假想平面、以規定間隔有選擇地形成有縱橫排列的多個光路變換用間隙。

2.根據權利要求1所述的光波導路，上述各空隙與相鄰的各空隙不連通，該各空隙的大小為直徑5～20μm，且上述相鄰的各空隙的間隔為1～20μm。

3.根據權利要求1或2所述的光波導路，上述激光的光源是脈沖寬度為5000ps以下的皮秒脈沖激光器或飛秒脈沖激光器。

4.一種光波導路的制造方法，是制造由作為光路的芯層和夾持、覆蓋該芯層的2個敷層構成的、且在上述芯層的規定區域具有以規定的角度反射入射到該芯層的光的光路變換構造的光波導路的方法，其特征在于，包括：將由上述芯層和各敷層構成的被加工物載置到工作臺上，利用脈沖激光器對規定的深度聚光照射激光，在上述芯層的希望的部位形成1個獨立的空隙后，使上述工作臺或上述激光的焦點沿規定方向相對移動規定量，利用新的激光脈沖，在形成與上述空隙不連通的另外的空隙的同時反復進行上述激光脈沖的照射與工作臺的相對移動，在上述芯層的規定區域不損傷上述敷層地有選擇地形成光路變換構造，該光路變換構造由沿相對于該芯層的光軸方向以所需要的角度傾斜的假想平面、以規定間隔縱橫排列的多個空隙構成。

5.根據權利要求4所述的光波導路的制造方法，上述脈沖激光器的激光的波長：300～2500nm、脈沖寬度：5000ps以下、脈沖能量：100nJ～1mJ/脈沖、能量密度：0.01～1J/cm²。